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真空計

真空計 セレクションガイド

圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。 基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。 省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。

圧力単位(Pa)

トランデューサー型 G-Tranシリーズ Hot Cathode Type-Cold Cathode Type-Pirani

CCMT-Dシリーズ Capacitance Manometer

GP-Gシリーズ Pirani

GI-M2/GI-D7 Hot Cathode Type

AxTRAN Extremely High Vaccume Gauge

ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)

分類・特長 測定範囲 ディスプレイ 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式
・安価
・セットポイント無
GP-1G
0.4~
2,700(Pa)
アナログ DC0-10mV、
非線形出力
AC100~
240V
GP-1G
持ち運び可
GP-1Gケース付き
GP-1Gケース付
・ロングセラー
・セットポイント2
GP-1GRY
GP-1G
GP-1GRY
・LCD表示
・セットポイント3
gp-1000g-gp-2001g-gp-2002g
デジタル DC0-10V
リニア出力
RS232C/
BCD
GP-1000G
・7セグメントLED4.5桁表示
・セットポイント3
GP-2001G/GP-2002G
0.4~
3,000(Pa)
GP-2001G
DC24V GP-2002G

ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/ デジタル出力 電源電圧 型式
・WP測定子仕様
・セットポイント2sp1
0.4~
3,000 (Pa)
DC0-5V 非線形出力 DC24V SP1

・大気圧仕様
・セットポイント2

sw1

0.05~
100,000 (Pa)
DC0-10V リニア出力 SW1-1
RS232C/ RS485 SW1-2

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)

電離真空計:汎用型(GIシリーズ)

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式
・三極管ガラス球
・デジタル表示
・セットポイント2GI-D8/WIT
1.3×10-5
6.7×10-1(Pa)
DC0-10V 仮数部リニア出力、
疑似LOG出力、
レンジホールドリニア出力
RS232C AC100V GI-D8/WIT
・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
GI-D7/WIB
1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa) GI-D7/WIB
・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
ph_gi-m2
5×10-8~ 9.9(Pa) GI-M2
・10-11Pa測定可
axtran
5×10-11~ 1×10-2(Pa) DC0-10V
リニア出力
RS232C/ BCD AC100~ 240V AxTRAN

電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式

・冷陰極型
・セットポイント2

unitsc1

5×10-5
1×100(Pa)
DC0-10V
非線形出力
DC24V SC1
・B-A型メタル球
・セットポイント3SH2-1
5×10-8
9.9(Pa)
DC0-10V
LOG出力
SH2-1
・WP測定子仕様
・セットポイント3SH2-1+SPU
5×10-8
1×104(Pa)
SH2-1+ SPU

・フルレンジ測定
・セットポイント無

SH2-1+SPU+SAU

5×10-8
1×105 (Pa)
SH2-1+ SPU+SAU
・B-A型メタル球
・セットポイント無SH2-1
5×10-8
9.9(Pa)
RS232C/ RS485 SH2-2
・WP測定子仕様
・セットポイント無SH2-1+SPU
5×10-8
1×104(Pa)
SH2-2+ SPU

・フルレンジ測定
・セットポイント無

SH2-1+SPU+SAU

5×10-8
1×105(Pa)
SH2-2+ SPU+SAU

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)

キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式
・絶対圧真空計
・高精度
・セットポイント無ccmt-d_series
13~1.3×105  DC0-10V
リニア出力
DC24V CCMT-1000D
1.3~1.3×104 CCMT-100D
1.3×10-1~1.3×103 CCMT-10D
1.3×10-2~ 1.3×102 CCMT-1D

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)

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