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ペニング真空計のトラブルシューティング

使用上の注意点

  1. 放電開始が確実でないときは、ほとんど測定子内部の汚れによるので、洗浄が必要となります。
  2. 陽極部に高電圧がかかるため、通電中は注意が必要です。
  3. 一般的に測定気体は窒素に設定されているので、残留ガスの主成分が窒素以外であると実際の圧力と違う圧力を表示します。
  4. 電極の表面状態により電子放出が変わるので、汚れなどにより圧力の指示値も変化します。

トラブルチェックリスト

1. 電源スイッチを「ON」にしても電源ランプが点灯しない
2. メータが振れない
3. 指示がおかしい
4. メータが振れるとすぐに「0」になる
5. セットポイント信号が出ない

1. 電源スイッチを「ON」にしても電源ランプが点灯しない

原因 対処方法
ヒューズきれ ・ヒューズ交換
・ヒューズ交換直後もきれる場合は、修理が必要
電源コードが抜けている 電源コードの接続を確認
電源ランプの断線 電源ランプの交換
電源電圧が仕様範囲以下 電源電圧を確認

2. メータが振れない

原因 対処方法
測定子ケーブルの断線 測定子ケーブルの修理、交換
測定子ケーブルの未接続 スイッチを切り、電源プラグを抜いた後、再度ケーブルの接続
メータの破損 メータの交換
測定子電極部が絶縁物で覆われている 測定子の洗浄あるいは交換

3. 指示がおかしい

原因 対処方法
指示値が高い。ふらつく場合 測定子の絶縁不良または電極の変形 → 測定子の洗浄あるいは交換
指示値が低い場合 測定子電極部が絶縁物で覆われている → 測定子の洗浄あるいは交換

4. メータが振れるとすぐに「0」になる

原因 対処方法
マグネットの取付位置がずれている マグネットの取付位置を確認
測定範囲を超えている 測定範囲を確認 

5. セットポイント信号が出ない

原因 対処方法
出力リレーの故障 修理を依頼
リレー接点の最小動作電流以下 リレーの最小動作電流は10mA 

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