真空バルブ セレクションガイド
アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧～極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。
- SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
- 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
- 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
- 材質はステンレス製となります。（ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。）
※旧型式も在庫はありますので、弊社営業担当者までお問い合わせください。
アングルバルブ
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
JIS-VFフランジ |
複動 | Oリング | 大気圧～10-5 | VF20 | VLP-SA020JH |
| VF25 | VLP-SA025JH | ||||
| VF40 | VLP-SA040JH | ||||
| VF50 | VLP-SA050JH | ||||
| VF65 | VLP-SA065JH | ||||
| VF80 | VLP-SA080JH | ||||
| VF100 | VLP-SA100JH | ||||
| VF150 | VLP-SA150JH | ||||
| VF200 | VLP-SA200JH | ||||
| VF250 | VLP-SA250JH | ||||
| VF350 | VLP-SA350JH | ||||
| ISO-KFフランジ
|
複動 | Oリング | 大気圧～10-5 | KF16 | VLP-SA016KF |
| KF25 | VLP-SA025KF | ||||
| KF40 | VLP-SA040KF | ||||
| KF50 | VLP-SA050KF | ||||
| ISO-Kフランジ
|
複動 | Oリング | 大気圧～10-5 | K63 | VLP-SA063KC |
| K80 | VLP-SA080KC | ||||
| K100 | VLP-SA100KC | ||||
| K160 | VLP-SA160KC | ||||
| K200 | VLP-SA200KC | ||||
| K250 | VLP-SA250KC |
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| JIS-VFフランジ
|
複動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | VF20 | VLP-SB020JH |
| VF25 | VLP-SB025JH | ||||
| VF40 | VLP-SB040JH | ||||
| VF50 | VLP-SB050JH | ||||
| VF65 | VLP-SB065JH | ||||
| VF80 | VLP-SB080JH | ||||
| VF100 | VLP-SB100JH | ||||
| VF150 | VLP-SB150JH | ||||
| VF200 | VLP-SB200JH | ||||
| VF250 | VLP-SB250JH | ||||
| ISO-KFフランジ
|
複動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | KF16 | VLP-SB016KF |
| KF25 | VLP-SB025KF | ||||
| KF40 | VLP-SB040KF | ||||
| KF50 | VLP-SB050KF | ||||
| ISO-Kフランジ
|
複動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | K63 | VLP-SB063KC |
| K80 | VLP-SB080KC | ||||
| K100 | VLP-SB100KC | ||||
| K160 | VLP-SB160KC | ||||
| K200 | VLP-SB200KC | ||||
| K250 | VLP-SB250KC | ||||
| ISO-CFフランジ
|
複動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | CF16(UFC034) | VLP-SB016CH |
| CF40(UFC070) | VLP-SB040CH | ||||
|
ISO-CFフランジ
|
複動 | ベローズ | 大気圧～10-8 | CF16(UFC034) | VLP-MB016CH |
| CF40(UFC070) | VLP-MB040CH | ||||
| CF63(UFC114) | VLP-MB063CH | ||||
| CF100(UFC152) | VLP-MB100CH | ||||
| CF160(UFC203) | VLP-MB160CH |
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ISO-KFフランジ
|
単動 NC (＊1) |
Oリング | 大気圧～10-5 | KF16 | VLB-SA016KF |
| KF25 | VLB-SA025KF | ||||
| KF40 | VLB-SA040KF | ||||
| KF50 | VLB-SA050KF | ||||
| ISO-KFフランジ
|
単動 NC (＊1) |
ベローズ | 大気圧～10-6 | KF16 | VLB-SB016KF |
| KF25 | VLB-SB025KF | ||||
| KF40 | VLB-SB040KF | ||||
| KF50 | VLB-SB050KF |
(＊1)単動NC … ノーマルクローズ（圧空解放時に自動的にクローズ）
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| JIS-VFフランジ
|
手動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | VF20 | VLH-SB020JH |
| VF25 | VLH-SB025JH | ||||
| VF40 | VLH-SB040JH | ||||
| VF50 | VLH-SB050JH | ||||
| VF65 | VLH-SB065JH | ||||
| VF80 | VLH-SB080JH | ||||
| VF100 | VLH-SB100JH | ||||
| VF150 | VLH-SB150JH | ||||
| ISO-KFフランジ
|
手動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | KF16 | VLH-SB016KF |
| KF25 | VLH-SB025KF | ||||
| KF40 | VLH-SB040KF | ||||
| KF50 | VLH-SB050KF | ||||
| ISO-Kフランジ
|
手動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | K63 | VLH-SB063KC |
| K80 | VLH-SB080KC | ||||
| K100 | VLH-SB100KC | ||||
| K160 | VLH-SB160KC | ||||
|
ISO-CFフランジ
|
手動 | ベローズ | 大気圧～10-6 | CF16(UFC034) | VLH-SB016CH |
| CF40(UFC070) | VLH-SB040CH | ||||
|
ISO-CFフランジ
|
手動 | ベローズ | 大気圧～10-8 | CF16(UFC034) | VLH-MB016CH |
| CF40(UFC070) | VLH-MB040CH | ||||
| CF63(UFC114) | VLH-MB063CH | ||||
| CF100(UFC152) | VLH-MB100CH | ||||
| CF160(UFC203) | VLH-MB160CH |
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ISO-VFフランジ
|
複動 | Oリング | 大気圧～10-5 | VF500 | VLP-U20 |
| VF550 | VLP-U22 | ||||
| VF900 | VLP-U36 |
ゲートバルブ
| 駆動方式 | 軸シール方式 | 使用圧力範囲(Pa） | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
|
複動 | Oリング | 大気圧～10-5 | VF100 | VAP-U100 |
| VF150 | VAP-U150 | ||||
| 手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
|
手動 | Oリング | 大気圧～10-5 | VF100 | VAH-U100 |
| VF150 | VAH-U150 |
振り子バルブ
| 駆動方式 | 形状 | 使用圧力範囲(Pa) | フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大型振り子バルブ
|
複動CL保持 (＊2) |
振り子 | 1.2×105～10-6 | VF400 | VFR-400 |
| VF500 | VFR-500 |
(＊2) 複動CL保持 … 複動だがクローズ状態で圧空解放時はクローズ保持。
