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真空バルブ

真空バルブ セレクションガイド

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧~極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。

  • SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
  • 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
  • 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
  • 材質はステンレス製となります。(ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。)

※旧型式も在庫はありますので、弊社営業担当者までお問い合わせください。

アングルバルブ  ・ゲートバルブ  ・振り子バルブ  ・特殊用途バルブ

アングルバルブ

製品ページはこちら

  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
JIS-VFフランジ
VLP_SA100JH_C
複動 Oリング 大気圧~10-5 VF20 VLP-SA020JH
VF25 VLP-SA025JH
VF40 VLP-SA040JH
VF50 VLP-SA050JH
VF65 VLP-SA065JH
VF80 VLP-SA080JH
VF100 VLP-SA100JH
VF150 VLP-SA150JH
VF200 VLP-SA200JH
VF250 VLP-SA250JH
VF350 VLP-SA350JH
ISO-KFフランジ

VLP_SA025KF_B

複動 Oリング 大気圧~10-5 KF16 VLP-SA016KF
KF25 VLP-SA025KF
KF40 VLP-SA040KF
KF50 VLP-SA050KF
ISO-Kフランジ

VLP_SA100KC_A

複動 Oリング 大気圧~10-5 K63 VLP-SA063KC
K80 VLP-SA080KC
K100 VLP-SA100KC
K160 VLP-SA160KC
K200 VLP-SA200KC
K250 VLP-SA250KC
  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
JIS-VFフランジ

VLP_SA100JH_C

複動 ベローズ 大気圧~10-6 VF20 VLP-SB020JH
VF25 VLP-SB025JH
VF40 VLP-SB040JH
VF50 VLP-SB050JH
VF65 VLP-SB065JH
VF80 VLP-SB080JH
VF100 VLP-SB100JH
VF150 VLP-SB150JH
VF200 VLP-SB200JH
VF250 VLP-SB250JH
ISO-KFフランジ

VLP_SA025KF_B

複動 ベローズ 大気圧~10-6 KF16 VLP-SB016KF
KF25 VLP-SB025KF
KF40 VLP-SB040KF
KF50 VLP-SB050KF
ISO-Kフランジ

VLP_SA100KC_A

複動 ベローズ 大気圧~10-6 K63 VLP-SB063KC
K80 VLP-SB080KC
K100 VLP-SB100KC
K160 VLP-SB160KC
K200 VLP-SB200KC
K250 VLP-SB250KC
ISO-CFフランジ

VLP_SB025CH_B

複動 ベローズ 大気圧~10-6 CF16(UFC034) VLP-SB016CH
CF40(UFC070) VLP-SB040CH

ISO-CFフランジ

VLP-MB040CH-B.jpg

複動 ベローズ 大気圧~10-8 CF16(UFC034) VLP-MB016CH
CF40(UFC070) VLP-MB040CH
CF63(UFC114) VLP-MB063CH
CF100(UFC152) VLP-MB100CH
CF160(UFC203) VLP-MB160CH
  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
ISO-KFフランジ

VLP_SA025KF_B

単動
NC (*1)
Oリング 大気圧~10-5 KF16 VLB-SA016KF
KF25 VLB-SA025KF
KF40 VLB-SA040KF
KF50 VLB-SA050KF
ISO-KFフランジ

VLP_SA025KF_B

単動
NC (*1)
ベローズ 大気圧~10-6 KF16 VLB-SB016KF
KF25 VLB-SB025KF
KF40 VLB-SB040KF
KF50 VLB-SB050KF

(*1)単動NC … ノーマルクローズ(圧空解放時に自動的にクローズ)

  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
JIS-VFフランジ

VLH_SB100JH_B

手動 ベローズ 大気圧~10-6 VF20 VLH-SB020JH
VF25 VLH-SB025JH
VF40 VLH-SB040JH
VF50 VLH-SB050JH
VF65 VLH-SB065JH
VF80 VLH-SB080JH
VF100 VLH-SB100JH
VF150 VLH-SB150JH
ISO-KFフランジ

VLH_SB025KF_B

手動 ベローズ 大気圧~10-6 KF16 VLH-SB016KF
KF25 VLH-SB025KF
KF40 VLH-SB040KF
KF50 VLH-SB050KF
ISO-Kフランジ

VLH_SB100KC_B

手動 ベローズ 大気圧~10-6 K63 VLH-SB063KC
K80 VLH-SB080KC
K100 VLH-SB100KC
K160 VLH-SB160KC

ISO-CFフランジ

VLH_SB025CH_B

手動 ベローズ 大気圧~10-6 CF16(UFC034) VLH-SB016CH
CF40(UFC070) VLH-SB040CH

ISO-CFフランジ

VLH-MB040CH-B.jpg

手動 ベローズ 大気圧~10-8 CF16(UFC034) VLH-MB016CH
CF40(UFC070) VLH-MB040CH
CF63(UFC114) VLH-MB063CH
CF100(UFC152) VLH-MB100CH
CF160(UFC203) VLH-MB160CH
  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
ISO-VFフランジ

VLP-U

複動 Oリング 大気圧~10-5 VF500 VLP-U20
VF550 VLP-U22
VF900 VLP-U36

ゲートバルブ

  駆動方式 軸シール方式 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ

VAP

複動 Oリング 大気圧~10-5 VF100 VAP-U100
VF150 VAP-U150
手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ

VAH

手動 Oリング 大気圧~10-5 VF100 VAH-U100
VF150 VAH-U150

振り子バルブ

  駆動方式 形状 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
大型振り子バルブ

VFR

複動CL保持
(*2)
振り子 1.2×105~10-6 VF400 VFR-400
VF500 VFR-500

(*2) 複動CL保持 … 複動だがクローズ状態で圧空解放時はクローズ保持。

特殊用途バルブ

  駆動方式 形状 使用圧力範囲(Pa) フランジ 型式
手動式超高真空エアインレットバルブ

10aivseries

手動 特殊(ベント) 大気圧~10-5 φ15 10AIV
UFC034-FH 10AIV-FM
UFC070-FH 10AIV-F
手動式超高真空ミニバルブ(コンフラットフランジタイプ)

vuh-mvf

手動 特殊(メタル) 
※ディスクシール:ポリイミド樹脂
大気圧~10-8 UFC034 VUH-MVF
超高真空バルブ手動式超高真空メタルバルブ(コンフラットフランジタイプ)VUHシリーズ

vuhseries

手動 特殊(メタル) 大気圧~10-9 UFC034 VUH-10D
UFC070 VUH-251C
VUH-401C
バリヤブルリークバルブ
variable-leak-valve
手動 特殊(可変) 大気圧~10-9 UFC034 VLV-3D

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