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スパッタイオンポンプ

スパッタイオンポンプ セレクションガイド

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

活性ガス排気型

  排気速度1×10-7Pa時 到達圧力 接続フランジ 質量 適合機種
N2 Ar
pst-400cx2400ax2 0.36m3/s 0.04m3/s 10-10Pa UFC203 約124Kg PST-400CXⅡ
pst-200cx2200ax2 0.20m3/s 0.02m3/s 10-10Pa UFC203 約65Kg PST-200CXⅡ
 pst-100cx100ax 0.10m3/s 10-9Pa台 UFC152 約37Kg PST-100CX
pst-050cuau 0.45m3/s 10-9Pa台 UFC114 約12Kg PST-050CU
 pst-030cu-au 0.03m3/s 10-9Pa台 UFC70 約9.5Kg PST-030CU

希ガス排気強化型

  排気速度1×10-7Pa時 到達圧力 接続フランジ 質量 適合機種
N2 Ar
pst-400cx2400ax2 0.36m3/s 0.19m3/s 10-10Pa UFC203 約124Kg PST-400AXⅡ
pst-200cx2200ax2 0.20m3/s 0.105m3/s 10-10Pa UFC203 約65Kg PST-200AXⅡ
pst-100cx100ax 0.10m3/s 10-9Pa台 UFC152 約37Kg PST-100AX
pst-050cuau 0.45m3/s 10-9Pa台 UFC114 約12Kg PST-050AU
pst-030cu_au 0.03m3/s 10-9Pa台 UFC70 約9.5Kg PST-030AU

スパッタイオンポンプコントロール

特長:CPU搭載によるマルチ機能化。この1機種で全てのスパッタイオンポンプPSTシリーズの制御が可能。

  表示範囲 動作圧力 外形寸法 質量 付属品 適合機種
 ph_gst-710l デジタル表示
(7セグメントLED表示)
10-2Pa~
10-4Pa以下
W240
H99
D370
約4Kg 入力ケーブル3m GST-07L

※出力ケーブルは、別売りになります。別途長さをご指定ください。

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コンポーネントガイド

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