真空機器の国内専門商社 真空機器はアルバック販売へ!

油回転真空ポンプのトラブルシューティング

チェック項目と対処方法

1. ポンプの圧力が下がらない(配管等の漏れおよび真空計の異変は除く)
2. 外部に油が漏れてくる
3. 異常音がする
4. ポンプが回転しない
5. ポンプの起動が困難(冬期)
6. オイルレベルゲージが飛び出す
7. 排気口から油が噴き出す

1. ポンプの圧力が下がらない

チェック項目 対処方法
・油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
・油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
・水分系を排気していないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
・水分排気時はガスバラストを作動させる
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる 
・高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する
・ポンプ回り配管等に漏れはないか    ・漏れを止める
・新しいポンプ油を入れたたばかりか  ・しばらく運転を続ける
・アウトガス
・油量を入れ過ぎていないか ・規定量水準まで減らす
・排気対象範囲に真空リークがないか ・接続部、溶接部の真空リーク部分を直す

※上記でも解決しない場合には、漏れを探し、点検修理を依頼してください。

2. 外部に油が漏れてくる

チェック項目 対処方法
・油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
・高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する

※上記でも解決しない場合には、点検修理を依頼してください。

3. 異常音がする

チェック項目 対処方法
・油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる

※上記でも解決しない場合には、ベーンが破損、異物が入っている場合ありますので、点検修理を依頼してください。

4. ポンプが回転しない

チェック項目 対処方法
・油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
・水分系を排気していないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
・水分排気時はガスバラストを作動させる
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる

※上記でも解決しない場合には、点検修理を依頼してください。

5. ポンプの起動が困難(冬期)

対処方法:下記チェック項目を確認してから冬期の場合には、ポンプ内の油を暖めて(室温を上げる等)手でプーリーを回してみてください。

チェック項目 対処方法
・油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
・油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる

※手でプーリーが回らなければ、修理を依頼してください。

6. オイルレベルゲージが飛び出す

対処方法:排気口側が詰まっていないかチェック(オイルミストトラップの目詰まり等)してから、下記チェック項目を確認してください。

チェック項目 対処方法
・ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
・ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
・高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する

※上記でも解決しない場合には、修理を依頼してください。

7. 排気口から油が噴き出す

チェック項目 対処方法
・高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する
・ポンプ回り配管等に漏れはないか ・漏れを止める
・油量を入れ過ぎていないか ・規定量水準まで減らす

※上記でも解決しない場合には、点検修理を依頼してください。

トラブル対策

1.水蒸気対策

ポンプ表面温度が60~70℃程度まで温まってから、ガスバラストバルブ(ガスバラ機能があるもののみ)を開放し、水分を排気します。
多量の水分を吸引した場合は、すぐに油を交換。そのまま放置すると、性能の低下だけでなく、ポンプ内にさびが発生し、回転不良を起こす原因となります。
油に混入した水分は、オイルフィルトレーションシステムで取り除くことも可能です。

2.寒冷地対策

ポンプ停止時、凍結防止のため、冷却水を少量流して、冷却パイプ、ジャケット部の破損を防ぎます。
2日以上ポンプを停止する場合は、冷却パイプ、ジャケット内に圧縮空気を流し、内部の水をパージ しておくことが必要です。

3.オイルミスト

オイルミストが比較的高い圧力のときに多く出ることは、吸入気体の密度(圧力)が高ければそれだけ排気気体の量も多くなることが原因です。
油回転真空ポンプは、油を使って潤滑およびシールをしています。
高い圧力で吸引し続けるとポンプ内部の油が排出されて潤滑不良を起こし、内部温度が上がり熱膨張が起き、駆動部分が焼き付け最終的にはポンプ停止の恐れがあります。高い圧力で連続運転を行わないでください。

メールでお問い合わせはこちら

コンポーネントガイド

コンポーネントガイド

  • Contact us by e-mail
ガラスMEMS製品
Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.