CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンス...

G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース化、(3)...

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。三極管型電離真空計...

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。B-A型電離...

大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa～10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。高真空下での...

大気圧から5×10-2Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。

センサユニット(SP1)は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型(測定子...

G-TRAN シリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。フィラメントを使用しないため、の消耗、破損の心配がありません。また...

本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続すること...

4チャンネルディスプレイユニットは、最大4台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。
8点のセットポイント出力、...