真空機器は当社へ!真空ポンプの通信販売も運営しております。

RF電源

RF電源 セレクションガイド

ULVAC の RF 電源は、出力周波数に13.56MHzと27.12MHzの2種類をそろえています。
小型・軽量化を実現し実験装置用500Wから生産装置用20Kwまで幅広い容量帯の電源をご用意しています。 
お客様のご用途・ご予算にあった RF電源 をお選びください。

主な用途 出力周波数 容量帯 タイプ 規格 冷却方式 入力電圧 型式
電源本体 マッチング
ボックス

PE-CVD
RFスパッタ
逆スパッタ
プラズマクリーニング
エッチング
イオンソース
ニュートラライザ

rfs-n-series

13.56MHz 500W 強制空冷 単相 200V
系統
RFS-1305L MBX-1305L
省エネ・高速マッチング型 CE RFS-1305N MBX-1305N
1kW 水冷 単相 200V
系統
RFS-1310L MBX-1310L
省エネ・高速マッチング型 CE 強制空冷 RFS-1310N MBX-1310N
3kW 水冷 3艘 200V
系統
RFS-1330L MBX-1330L
5kW 水冷+強制空冷 3艘 200V系統 RFS-1350LH MBX-1350L
10kW 水冷 3艘 400V
系統
RFS-13100F MBX-13100F
27.12MHz 500W 強制空冷 単相 200V
系統
RFS-2710H MBX-2710H
1kW 水冷+強制空冷
3kW 水冷+強制空冷 RFS-2730H MBX-2730H
5kW 水冷+強制空冷 3艘 200V
系統
RFS-2750L MBX-2750L
7.5kW 水冷+強制空冷 RFS-2775L MBX-2775L
PV向けPE-CVD 13.56MHz 15kW 水冷 3艘 400V
系統
RFS-13150F MBX-13150F
20kW 水冷 3艘 400V
系統
RFS-13200F MBX-13200F

メールでお問い合わせはこちら

コンポーネントガイド

コンポーネントガイド

  • Contact us by e-mail
Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.