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ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ セレクションガイド

数値は機種選定の目安です。詳細の値はカタログを確認下さい。

特長 排気速度
(L/s)/(N2)
到達圧力 吸気口 冷却方式 排気性能タイプ 軸受 型式

動翼が全翼タイプのピボット軸受ターボ分子ポンプ
超高真空排気向け

utm-series

50 10-7 VG65
ICF114
空冷 or
水冷
高圧縮 ピボット軸受
+永久磁石軸受
UTM-50
190 10-8 VG100
ICF152
空冷 or
水冷
高圧縮 ピボット軸受
+永久磁石軸受
UTM-150
300 10-8 VG100
ICF152
空冷 or
水冷
高圧縮 ピボット軸受
+永久磁石軸受
UTM-300
550 10-8 VG150
ICF203
空冷 or
水冷
高圧縮 ピボット軸受
+永久磁石軸受
UTM-500

デジタル5軸制御磁気軸受 複合翼型ターボ分子ポンプ
ライト~ミドルプロセスの主排気

utm-fh-fw-series

350
330
10-8 VG100 空冷 or
水冷
高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-350FH
ICF152 デジタル5軸制御
磁気軸受
480 10-8 VG150 空冷 or
水冷
高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-480FH
ICF203 デジタル5軸制御
磁気軸受
810
740
10-8 VG150 空冷 or
水冷
高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-800FH
ICF203 デジタル5軸制御
磁気軸受
1000 10-8 VG200 空冷 or
水冷
高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-1001FH
ICF253 デジタル5軸制御
磁気軸受
3300 10-8 VG350 水冷のみ 高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-3303FH
6300 10-8 VG500 水冷のみ 高圧縮・
高背圧型
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-6300FH

デジタル5軸制御磁気軸受 複合翼型ターボ分子ポンプ
ミドル~ハードプロセスの主排気
大流量ガス排気用途

utm-fh-fw-series

350
330
10-7 VG100 空冷 or
水冷
広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-350FW
ICF152 デジタル5軸制御
磁気軸受
480 10-7 VG150 空冷 or
水冷
広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-480FW
ICF203 デジタル5軸制御
磁気軸受
810
740
10-7 VG150 空冷 or
水冷
広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-800FW
ICF203 デジタル5軸制御
磁気軸受
1000 10-7 VG200 空冷 or
水冷
広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-1001FW
ICF253 デジタル5軸制御
磁気軸受
1490
1360
1300
10-8 VG250 水冷のみ 広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-1400FW
VG200 デジタル5軸制御
磁気軸受
ICF253 デジタル5軸制御
磁気軸受
2730
2230
2110
10-7 VG300 水冷のみ 広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-2300FW
VG250 デジタル5軸制御
磁気軸受
ICF305 デジタル5軸制御
磁気軸受
3300 10-7 VG350 水冷のみ 広域・
大流量
デジタル5軸制御
磁気軸受
UTM-3301FW

ターボ分子ポンプ排気ユニット

ytp-series

50 10-7 VG65
ICF114
空冷 大気圧から高真空まで本製品1台で排気可能 ピボット軸受
+永久磁石軸受+補助ポンプ
YTP-50M/
SA(DRY)
190 10-8 VG100
ICF152
空冷 YTP-150M/
SA(DRY)
300 空冷 YTP-300M/
SA(DRY)
550 VG150
ICF203
空冷 YTP-500M/SA

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