極高真空計
AxTRAN

真空計分析・計測機器極高真空計

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。
軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10^-10Paの測定分解能を実現しました。

用途

• 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に
• 超高、極高真空装置の圧力測定に

特長

• 10^-11Pa台の圧力測定が可能
• 軟X線やESDイオン等の残留電流の低減が可能
• 1×10^-2〜0.5×10^-10Paの広い圧力範囲
• 圧力は0〜10Vの疑似Log出力 / 各桁内1Vリニア出力の標準装備
• セットポイント2点の出力可能
• BCD/RS232Cが可能(オプション)
• CE対応