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EB電源/EBガン

EB電源/EBガン セレクションガイド

EBガンの種類   ・EB電源の種類 

ULVAC の蒸発源 (EB ガン ) は、すべて磁場偏向を使用しています。また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。

小容量で実験等に向いている EGK シリーズと、中〜大容量で生産用に向いている EGN・EGLシリーズ、光学用のEGO・EGPシリーズがラインアップされています。 電子ビーム蒸発用電源 (EB 電源 ) の HPS シリーズは、5kW、10kW、16kW があり、強制空冷でありながら従来のものに比較して、小型軽量化されています。また、異常放電時の成膜レートの低下を最小限にする機構を採用しています。 EB ガンを選択する場合には、電源と併せて、電源ケーブル長等の追加仕様や、導入端子等のアクセサリの選択をする必要があります。

EBガンの種類

特長 分類 るつぼ容量 x 数 容量帯 ガン本体型式 対応電源

研究用金属蒸着
egk-egl-egn-ego-egp-series

 

EGKシリーズ 2.6cc x1 5kW EGK-3 HPS-510S
HPS-600N
2.9cc x4 5kW EGK-3M HPS-510S
HPS-600N

生産用金属蒸着
超高真空仕様
egk-egl-egn-ego-egp-series

 

EGLシリーズ
(中容量)
10cc x3 6kW EGL-103S HPS-510S
HPS-600N

生産用金属蒸着

egk-egl-egn-ego-egp-series.jpg

EGNシリーズ
(新型大容量)
※酸化物も可能
20cc x6 8kW EGN-206M HPS-1000N
HPS-1000S
40cc x6 10kW EGN-406M HPS-1000N
HPS-1000S
EGLシリーズ
(大容量)
40cc x1 10kW EGL-35 HPS-1000N
HPS-1000S
40cc x2 + 10cc x2 6kW,10kW EGL-35M HPS-510S
HPS-1000N
HPS-1000S
20cc x6 8kW EGL-206M HPS-1000N
HPS-1000S
40cc x6 10kW EGL-406M HPS-1000N
HPS-1000S
110cc x1 16kW EGL-110 HPS-1000N
HPS-1000S
HPS-1600F-S100
110cc x4 16kW  EGL-80M HPS-1600F-S101

生産用光学蒸着

hps-n-series

EGPシーズ
※電子ビーム偏向180°
成膜装置側に
るつぼを保有の場合
6kW,10kW EGP-1G HPS-1000N
HPS-600N
HPS-1000G

生産用光学蒸着

egk-egl-egn-ego-egp-series

EGOシリーズ
※電子ビーム偏向270°
成膜装置側に
るつぼを保有の場合
6kW,10kW EGO-1G HPS-1000N
HPS-600N
HPS-1000G
40cc x2 + 10cc x2 10kW EGO-40M HPS-1000N
HPS-1000G
20cc x6 10kW EGO-206M HPS-1000N
HPS-1000G
40cc x6 10kW EGO-406M HPS-1000N
HPS-1000G
110cc x4 10kW EGO-110M HPS-1000N
HPS-1000G

※EGNシリーズでの酸化物使用はピームサイズ等条件付きです。

EB電源の種類

用途 分類 出力電力 特長 型式

透明導電膜、
バリア膜、
光学膜、
装飾膜、
LED配線膜等。

hps-series

hps-n-series

光学用、金属蒸着
モードの切り替え可能
10kW CE規格、スイープ波形作成 HPS-1000N
金属蒸着モード専用 5kW 1ソース用  HPS-510S
10kW 1ソース用 HPS-1000S-100
2ソース対応 HPS-1000S-200
16kW 1ソース用 EGL-110、EGL-180用 HPS-1600F-S100
EGL-80M、EGL-180M用 HPS-1600F-S101
2ソース対応 EGL-110、EGL-180用 HPS-1600F-S200
EGL-80M、EGL-180M用 HPS-1600F-S201
光学用モード専用 6kW CE規格、スイープ波形作成 HPS-600N
10kW 1ソース用 HPS-1000G-100
2ソース対応 HPS-1000G-200

※すべて強制空冷式です。

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