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水晶発振式成膜コントローラ用センサ

水晶発振式成膜コントローラ用センサ セレクションガイド

水晶発振式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズはベーキングの有無や測定環境の温度により使い分けます。お客様のアプリケーションに最適なCRTSセンサをお選びください。
もちろん、CRTMシリーズにはどのタイプのセンサでも接続可能です。
ご注文の際はセンサ型式、センサ長さ(100㎜〜800㎜)、および導入端子型式(別売)をご指定ください。

用途・特長 ベーキング
温度
(最高)
搭載
クリスタル
センサー
ヘッド寸法
水冷パイプ 型式
パイプ長 外径 水冷水量

蒸着センサ
100℃以下の蒸着

CRTS-4/CRTS-84

150℃ 1枚
5MHz
(6MHz)
φ31xH19mm 100~800mm 4mm 200cc/min

標準タイプ
CRTS-4

長寿命タイプ
CRTS-84

蒸着センサ
200℃以下の蒸着

CRTS-6/CRTS-86

1枚
5MHz
(6MHz)
φ34xH19mm 6mm 400cc/min

標準タイプ
CRTS-6

長寿命タイプ
CRTS-86

水冷パイプ無し蒸着センサ
80℃以下の蒸着

CRTS-0/CRTS-80

1枚
5MHz
(6MHz)
φ28xH19mm  

標準タイプ
CRTS-0

長寿命タイプ
CRTS-80

水冷パイプ無し蒸着センサ
水冷ジャケット付
300℃以下の蒸着

CRTS-0/CRTS-80

1枚
5MHz
(6MHz)
φ45xH30mm 100~800mm
※ジャケット部配管
6mm
※ジャケット部配管
400cc/min
※ジャケット部配管

標準タイプ
CRTS-0

長寿命タイプ
CRTS-80

ベーカブル蒸着センサ

CRTS-4U/CRTS-84U

300℃ 1枚
5MHz
(6MHz)
φ31xH20mm 100~800mm 4mm 200cc/min

標準タイプ
CRTS-4U

長寿命タイプ
CRTS-84U

ベーカブル蒸着センサ
超高真空用
200℃以下の蒸着

CRTS-4U/CRTS-84U

1枚
5MHz
(6MHz)
φ34xH20mm 6mm 400cc/min

標準タイプ
CRTS-6U

長寿命タイプ
CRTS-86U

マルチセンサー12連
350℃以下の厚膜連続蒸着

CRTS-12NS

ベーキング
不可
12枚
5MHz
φ104xH61mm 1/4インチ 1L/min CRTS-12NS

マルチセンサー6連
350℃以下の厚膜連続蒸着

CRTS-M6

6枚
5MHz
(6MHz)
φ50xH89mm CRTS-M6

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