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ガス分析計(プロセスガスモニタ)

ガス分析計(プロセスガスモニタ) セレクションガイド

アルバックのプロセスモニタは、宇宙、原子力などの最先端研究・開発用途に適した高性能・高分解能ハイエンドモデルから、 一般用途に適したベーシックタイプまで幅広いラインナップがあります。
CCGシリーズはスパッタ専用機で2Paから分析可能なプロセスガスモニタとなります。
またアルバックの技術で培った解析ソフトも付属されています。
多種多様な分析目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。

Quleeシリーズ

用途 質量数範囲 感度(A/Pa) 検出器 型式 名称
スパッタ装置専用機
プロセス分析も可能qulee-cgm
1~50
amu
10-7 ファラデーカップ CGM-051 コンパクト
プロセスガスモニタQulee CGM
10-4 二次電子増倍管
ファラデーカップ
CGM-052
各種真空装置
汎用仕様qulee-bgm
1~100
amu
10-7 ファラデーカップ BGM-101R ベーシック
プロセスガスモニタQulee BGM
4 二次電子増倍管
ファラデーカップ
BGM-102R
1~200
amu
10-7 ファラデーカップ BGM-201R
4 二次電子増倍管
ファラデーカップ
BGM-202R
R&D、研究開発用途、
世界最高感度qulee-hgm
1~200
amu
4 二次電子増倍管
ファラデーカップ
HGM-202R ハイパフォーマンス
プロセスガスモニタQulee HGM
1~300
amu
4 HGM-302R
CVD、エッチング装置、
反応性ガス対応qulee-rgm-202_rgm-302
1~200
amu
10-3 二次電子増倍管
ファラデーカップ
RGM-202R リアクティブ
プロセスガスモニタQulee RGM
1~300
amu
 10-3 RGM-302R

※標準ソフト:Qulee QCS(Windows XP/7)

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