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製品情報

各種電源・ロボット関連

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
また、成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。

成膜用電源 / EBガン

EBガン、EB電源、DC電源、RF電源などアルバックが長年の装置製造で培ったプロセス...

真空搬送ロボット

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活...

ソフトウェア

装置診断システム FABISEQ(プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェ...

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