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薄膜計測

薄膜計測 セレクションガイド

アルバックの薄膜計測(プロファイラ、高速分光エリプソメータ)は、研究・開発・生産用途に適した高性能・自動ステージハイエンドモデルから、実験用途に適したポータブルタイプまで幅広いラインナップがあります。 使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

プロファィラ(触針式) プロファイラ(光干渉式) 高速分光エリプソメータ
(デスクトップタイプ)
高速分光エリプソメータ
(ビルドインタイプ)

プロファィラ(触針式)

特長 測定長さ ステージサイズ XYステージ
移動範囲
サンプル厚
(最大)
段差測定再現性 型式
安価・手動型
alpha-stepd-500
30mm φ140mm  80×20mm
手動 
20mm 1σ=0.5nm
(1μm標準試料)
Alpha-Step D-500
安価・手動型
alpha-stepd-600
55mm φ 200mm   50×178mm
電動プログラマブル
30mm 1σ=0.5nm
(1μm標準試料)
Alpha-Step D-600
多機能・高精度
p-7
150mm φ150mm  φ150㎜
電動プログラマブル
55mm 1σ=0.4nm
(1μm標準試料)
P-7
多機能・高精度
p-17
200mm φ200mm φ200mm
電動プログラマブル
55mm 1σ=0.4nm
(1μm標準試料)
P-17
安価・手動型
p-17of
200mm 240×240mm
Maxステージサイズ
:φ300mm
※オプション
φ200mm
電動プログラマブル
55mm 1σ=0.4nm
(1μm標準試料)
P-17OF

プロファィラ(光干渉式)

特長 垂直測定レンジ ステージサイズ XYステージ
移動範囲
測定モード 光源 型式
安価・手動型
microxam-100
250μm 100×100mm  100×100mm
手動 
VSI
PSI
白色LED MicroXAM-100
高機能・電動型
microxam-800
250μm φ150mm 152×152mm
電動
VSI
PSI
ZSI
SMART
緑色/白色LED MicroXAM-800

高速分光エリプソメータ(デスクトップタイプ)

特長 ステージタイプ 機能 波長範囲 スポット径 Zフォーカス 型式
ポータブル
UNECS-Portable
固定タイプ 530~750
(nm)
1(mm) 手動 UNECS-Portable
0.3(mm) 手動 UNECS-Portable-030
380~760
(nm)
1(mm) 手動 UNECS-PortableW
0.3(mm) 手動 UNECS-PortableW-030
手動ステージ
UNECS-1500M
手動φ150(mm) 530~750
(nm)
1(mm) 手動 UNECS-1500M
0.3(mm) 手動 UNECS-1500M-030
380~760
(nm)
1(mm) 手動 UNECS-1500MW
0.3(mm) 手動 UNECS-1500MW-030
自動ステージ
UNECS-2000A
自動φ150(mm) 【オプション】
1. 高精度マップ
※2000ポイント
2. 3D表示
3. 観察カメラ
530~750
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-1500A
0.3(mm) 自動 UNECS-1500A-030
380~760
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-1500AW
0.3(mm) 自動 UNECS-1500AW-030
自動φ200(mm) 530~750
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-2000A
0.3(mm) 自動 UNECS-2000A-030
380~760
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-2000AW
0.3(mm) 自動 UNECS-2000AW-030
自動φ300(mm) 高精度マップ標準装備
※2000ポイント
【オプション】
1. 3D表示
2. 観察カメラ
530~750
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-3000A
0.3(mm) 自動 UNECS-3000A-030
380~760
(nm)
1(mm) 自動 UNECS-3000AW
0.3(mm) 自動 UNECS-3000AW-030

高速分光エリプソメータ(ビルトインタイプ)

タイプ 用途 波長範囲 スポット径 型式
ビルトイン
UNECS-1M
大気 530~750(nm)
※標準タイプ
1(mm) UNECS-1M
0.3(mm) UNECS-1M-030
380~760(nm)
※可視光タイプ
1(mm) UNECS-1MW
0.3(mm) UNECS-1MW-030
真空 530~750(nm)
※標準タイプ
1(mm) UNECS-1MV
380~760(nm)
※可視光タイプ
1(mm) UNECS-1MVW

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