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水晶発振式成膜コントローラ

水晶発振式成膜コントローラ セレクションガイド

水晶式発振式成膜コントローラCRTMシリーズはCRTM-6000GおよびCRTM-9100Gの2機種をご用意しています。
お客様のご用途・ご予算にあったCRTMをお選びください。

特長 周波数 センサ 型式
測定分解能 取付可能数
マルチ
同時測定
/制御
取付可能数
シングル

抜群のコストパフォーマンス
レート/膜厚のモニタおよび制御
蒸着前後のパワー制御
多層膜の連続蒸着制御

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0.024Hz 1 1 2
(切り替え式)
CRTM-6000G

ハイパフォーマンスで多機能
多元素同時蒸着制御
低レイト蒸着制御

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0.003Hz 1
(最大4)
1
(最大4)
2
(最大8)
CRTM-9100G

1)測定レンジ:5Mhz(3.0~5.01MHz)
       :6Mhz(4.0~6.01MHz)
2)表示分解能:0.001MHz

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コンポーネントガイド

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