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大型ドライ真空ポンプ

大型ドライ真空ポンプ セレクションガイド

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
真空ポンプが作り得る圧力を表に示します。また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
ある程度は排気計算で算出すことができますので、詳しくは弊社までお問い合わせください。

1)ドライ真空ポンプ

数値は機種選定の目安です。詳細の値はカタログを確認下さい。​

特長 最大排気速度(L/min) 到達圧力
Pa
冷却方式 MBP搭載 表面処理*2) 機種名
50Hz 60Hz

空冷式小型ドライポンプサイレンサー内蔵

cr-series

280L/min ≦3Pa 空冷 CR16B
500L/min 空冷 CR30B
920L/min 空冷 CR60B
5,000L/min ≦0.5Pa 空冷 MBP
搭載
CR300B

一般産業向けに装備を軽減したモデル

gr-series

1,030L/min 1,333L/min

5Pa

 

水冷 GR60A
1,860L/min 2,100L/min 水冷 GR90A
3,100L/min 3,950L/min 水冷 GR180A

クリーンプロセス対応ECO-SHOCK内蔵省エネ型

2,000L/min

≦0.6Pa 水冷 LS120A-C 
 6,300L/min ≦0.1Pa 水冷 MBP
搭載
LS300A-C 
10,000L/min 水冷 MBP
搭載
LS600A-C 
16,700L/min 水冷 MBP
搭載
LS1200A-C  

水蒸気排気等のライトプロセス対応

2,000L/min

≦0.6Pa 水冷 LS120A-L 
6,300L/min ≦0.1Pa 水冷 MBP
搭載
LS300A-L 
10,000L/min 水冷 MBP
搭載
LS600A-L 
16,700L/min 水冷 MBP
搭載
LS1200A-L 

低温領域で均熱化
ロードロック室などの排気に最適

lr_hr_ur-series

1,030L/min 1,333L/min 5Pa 水冷 LR60
1,860L/min 2,100L/min 水冷 LR90
3,100L/min 3,950L/min 水冷 LR180
7,333L/min 水冷 LR421
LR421-T
5,980L/min 6,080L/min 0.67Pa 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
LR300
10,900L/min 11,700L/min 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
LR600
16,900L/min 17,500L/min 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
LR1200
28,350L/min 29,700L/min 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
LR1800
53,333L/min 水冷 MBP
搭載
LR3601
53,333L/min 水冷 MBP
搭載
LR3601-R
45,000L/min 水冷 MBP
搭載
LR3601-TT
53,333L/min 水冷 MBP
搭載
LR3601-TR

高温領域で均熱化
低温だと液化または固体化してしまう反応性ガスを気体状態のまま排出することが可能

lr_hr_ur-series

1030L/min 1333L/min 5Pa 水冷 HR60
1860L/min 2100L/min 水冷 HR90
5980L/min 6080L/min 0.67Pa 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
HR300
10900L/min 11700L/min 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
HR600
16900L/min 17500L/min 水冷 MBP
搭載
MBP
 有無を選択
HR1200

HR型をさらに高温にしたモデル
反応性ガスが多い場合に有効

lr_hr_ur-series

6,833L/min 5Pa 水冷 UR421-T
10,833L/min 0.67Pa 水冷 MBP
搭載
UR600
16,867L/min 水冷 MBP
搭載
UR1200
28,350L/min 水冷 MBP
搭載
UR1800
45,000L/min 水冷 MBP
搭載
UR3601-TT

※1)GRは汎用モータを搭載しているため特殊環境モータの見積が可能です。 ※2)ドライポンプは全部表面処理が付いています。

2)ドライポンプサイレンサ

LRシリーズ 標準仕様用サイレンサ

ドライポンプ型式 適用サイレンサ
LR60 RS-01キットA RS-02キットA※
LR90 RS-01キットA RS-02キットA※
LR180 RS-02キットA RS-02キットA※
LR300 RS-01キットA RS-02キットA※注1
LR600 RS-01キットB RS-02キットB※
LR1200 RS-01キットB RS-02キットB※
LR1800 RS-02キットB RS-02キットB※
LR421(-T) RS-03キットA  
LR3601(-R) RS-03キットB  

※:サイレンサーキット(旧型品)を使用しており、取り合いを変えないで使用される場合。 注1:図面配置で電源配線が干渉します。旧型品でご使用でない場合はキットBかRS-01を使用下さい。

CR・GRシリーズ用サイレンサ

ドライポンプ型式 適用サイレンサ
CR16B RS-01キットD   開放型サイレンサ
EFS-11-NW25/2/2516 注1
CR30B RS-01キットD   開放型サイレンサ
EFS-11-NW25/2/2516 注1
CR60B RS-01キットA 開放型サイレンサ
EFS-19-NW40/1 注2
 
CR300B RS-01キットC 開放型サイレンサ
EFS-19-NW40/1 注2
 
GR60A
(+PMB300D)
RS-01キットA    
GR90A
(+PMB600D)
(+PMB1200D)
RS-01キットA    
GR180A RS-02単体 注3 RS-02キットC  
GR180A
+PMB1200D
RS-02キットC 注4  

注1:ダクトにNW25で接続可能ですが、本体部分がプラスチックなので接続部に力がかからないようにして下さい。内部のフィルタエレメントは目詰まりを確認し、適宜交換して下さい。
注2:ダクトへの接続はできません。ダクトに接続せずに室内へ開放しても安全なガスの場合のみ適用できます。ポンプ排気口との取付用のクランプとアウターリング各1個が付属されます。内部のフィルタエレメントは、フィルタエレメントの目詰まりを確認し適宜交換して下さい。。
注3:排気側の配管でサイレンサの重量を保持できる場合に限ります。単体には接続用クランプ・アウターリングは付属していません。
注4:RS-02単体は取付できません。

LR(CE仕様)シリーズ用サイレンサ

ドライポンプ型式 適用サイレンサ
LR60(CE仕様) RS-01キットB
LR90(CE仕様) RS-01キットB
LR180(CE仕様) RS-02キットB
LR300(CE仕様) RS-01キットA
LR600(CE仕様) RS-01キットB
LR1200(CE仕様) RS-01キットB
LR1800(CE仕様) RS-02キットB

CE仕様のドライポンプ用サイレンサーであり、サイレンサー自体はCE仕様ではありません。

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