残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ベーシックプロセスガスモニタ
Qulee BGMシリーズ
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。
用途
- 真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
- 高真空排気装置の残留ガス分析
- 凍結乾燥装置の残留ガス分析
- 研究開発向け各種ガス分析
特長
- 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
- 簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要
- リークテスト機能の充実
- 全圧測定が可能
- Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
- CE標準対応
仕様
分解能M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | BGM-101 | BGM-201 | BGM-102 | BGM-202 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1〜100 amu | 1〜200 amu | 1〜100 amu | 1〜200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
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| 感度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| 最大使用圧力 | 1x10-2Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| One Click機能 | あり/He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10〜40℃ | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver3.0以降（Windows XP/7対応） | |||
| 適合規格 | CE | |||
