残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
コンパクトプロセスガスモニタ
Qulee CGM2シリーズ
高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。
用途
- スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に
- 各種真空装置のリークテストに
特長
- Ethernet通信の対応
- 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
- 簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
- プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
- リークテスト機能の充実
- 全圧測定が可能
- Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
- CE標準対応
仕様
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | CGM2-051 | CGM2-052 | |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | ||
| 質量数範囲 | 1〜50 amu | ||
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ ファラデーカップ |
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| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | |
| 最小検知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | |
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC) 1x10-2Pa(SEM) |
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| リニアリティ | 1Pa | ||
| 全圧測定機能 | あり | ||
| One Clickリークチェック機能 | あり/He/H2O/N2/O2/Any gas | ||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | ||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | ||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ | ||
| 使用温度範囲 | 10〜40℃ | ||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.0以降（Windows 7,8,10対応） | ||
| 通信インターフェース | Ethernet通信対応 | ||
| 適合規格 | CE | ||
