大型振り子バルブ
VFRシリーズ
アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ（ゲートバルブ）です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。
用途
- 大型ディスプレイ製造装置
- 有機EL製造装置
- その他真空装置のメインバルブ・仕切バルブ
特長
- アルバック独自の機構
機械的なロック機構を持たない独自のシール機構と逆圧キャンセル機構を採用
パーティクルの発生原因となる摺動部分は極めて少ない構造
開閉動作時・シール時の衝撃（振動）はほとんど無し - 優れたメンテナンス性
装置、ポンプからバルブを外さずに、バルブケースの着脱が可能
ケースを外した状態から、ボルトを1本外すことによって弁体ユニットの着脱が可能 - 取付場所を選ばない設計
VFRシリーズの取付姿勢は360度自由
仕様
| 型式 | VFR-400 | VFR-500 | |
| 呼び口径 | φ400mm | φ500mm | |
| 接続フランジ（JIS B2290相当） | VF400 | VF500 | |
| 開閉仕様 | 2位置 | ||
| 開閉動作原理 | 圧空作動式 | ||
| 開閉動作時間（2位置仕様） | 8s 以下 | 12s 以下 | |
| 弁板シール性能 | 逆圧対応 | ||
| 開放コンダクタンス | 50000L/s | 90000L/s | |
| 使用圧力範囲 | 1.0×10-5Pa〜0.12MPa(abs) | ||
| ベーキング許容温度（静止時） | バルブボディ : 120ºC 以下 シリンダ : 80ºC 以下 |
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| 動作環境温度 | 10〜80ºC | ||
| 使用流体温度 | 10〜80ºC | ||
| シリンダ供給圧空圧力 | 0.5〜0.7MPaG | ||
| 圧空供給口径 | φ8管継手 | ||
| メンテナンスサイクル | 10万回 | ||
| 取付姿勢 | 自由 | ||
| 主要部品材質 | バルブボディ : AC4CH-T6 弁板 : AC4CH-T6 |
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| シール部品材質 | 真空側 : フッ素ゴム | ||
| 油脂類 | Z300グリス | ||
| 総質量 | 98kg | 155kg | |
| 面間寸法 | 150mm | 170mm | |
