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製品情報

圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAPシリーズ

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。



用途

  • 各種真空装置の排気系ラインに

特長

  • 空気の巻込みが少ない、Oリング軸シール方式
  • 構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
  • アルミニウム合金の採用により軽量化を実現
  • リンク機構の採用によりコンパクト化を実現
  • 低振動

仕様

型式 VAP
呼び口径 A(B) 100A(4B)〜150A(6B)
本体材質 アルミニウム合金(内部部品:軟鋼、ニッケルメッキ)
ガスケット材質 フッ素ゴム
ベーキング許容温度 (ºC) <60
使用圧力範囲 (Pa) 105〜10-5
リーク量 (Pa·m3/s) <7.0×10-9 (*1)
許容周囲温度 (ºC) 5〜40
作動形式 圧縮空気作動
圧縮空気操作圧力 (MPa) 0.45〜0.55
開閉信号出力 取付け可能(オプション) (*2)
逆圧 標準で逆圧対応
注1: 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は下記のようになります。
1Pa=7.5×10-3Torr
注2: バルブの開閉動作は、最大差圧:1000Pa以下で行って下さい。
*1: a.静止時の封止特性値です。リーク量にOリングの透過量は含みません。
b.弁体の動作中は、シャフトに付着した空気を巻込むことがあり、見かけのリーク量が増加することがあります。
*2: オートスイッチ型式:対応型式が複数ありますので、弊社までお問い合わせください

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