真空機器は当社へ!真空ポンプの通信販売も運営しております。
製品情報

触針式プロファイラ
Alpha-Step D-500/D-600

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。



用途

  • 試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定
  • 特長

  • ワイドな垂直測定レンジ(最大1200μm)
  • 優れた段差測定再現性(1σ=0.5nm/1μm段差)
  • 低針圧測定(0.03mg ~ 15mg)
  • 観察用カラーカメラ(4Xデジタルズーム付)
  • キーストーン画像補正機能

  • 【D-500】

  • φ140mm(移動範囲:80×20mm)手動ステージ
  • 省スペース(本体サイズ:W250×D390mm)

  • 【D-600】

  • φ200mm(移動範囲150×178mm)電動ステージ
  • 自動シーケンス測定(20サイト)
  • 3Dイメージング(オプション)
  • 仕様

    Alpha-Step D-500 Alpha-Step D-600
    測定長さ 30mm 55mm
    サンプルステージ直径 140mm 200mm
    XYステージ移動範囲 80×20mm 手動 150×178mm 電動プログラマブル
    θステージ 360° 手動
    サンプル厚さ(最大) 20mm 30mm
    サンプル観察 視野3.76×3.12mm、4Xデジタルズーム付、サイドビュー
    段差測定再現性 1σ=0.5nm (1μm標準試料)
    垂直測定レンジ(最大) 1200μm
    垂直測定分解能(最高) 0.038nm (2.5μmレンジ)
    針圧範囲 0.03~15mg
    触針先端半径 2μmR
    プロファイルデータポイント 120,000
    自動シーケンス測定 - 20サイト オプション:1,000サイト
    Apex 2D/3D解析 オプション:2D オプション:2D/3D
    ストレス測定 オプション(2Dストレス)
    プロファイルスティッチング 標準 標準(自動)
    オートレベリング 標準(ソフト)
    アークモーション補正 標準
    OS Windows7
    電源 AC90-260V、50/60Hz、500VA
    外形寸法(W×D×H)/重量 250×390×240mm / 13.6kg 370×580×310mm / 40.8kg
    (本体測定部のみ、PC・モニタ等は含まず)

    データダウンロード

    カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。

    すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

    Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.