真空機器は当社へ!真空ポンプの通信販売も運営しております。
製品情報

触針式プロファイラ
P-7/P-17

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。



特長

  • 優れた段差測定再現性(1σ=0.4nm/1μm段差)
  • 自動シーケンス測定機能(標準20サイト、オプション1000サイト)
  • 3タイプの測定ヘッド(標準/低針圧/拡張レンジ)
  • Apex 2D 解析/レポートソフトウェア

  • 【P-7】

  • Φ150mm電動ステージ
  • 長距離測定(最大150mm)
  • シングルビューカメラ(トップ/サイドから選択可)
  • 2Dストレス/3D解析ソフト(オプション)

  • 【P-17】

  • φ200mm電動ステージ
  • 電動θステージ(±360°)
  • デュアルビューカメラ(トップ+サイド)
  • 3Dストレス(オプション)
  • 最大φ300mmまで対応するOF(オープンフレーム)タイプを設定
  • 仕様

    P-7 P-17 P-17 OF
    測定長さ 150mm 200mm
    サンプルステージ直径 150mm 200mm 240×240mm
    オプション:φ300mm
    XYステージ移動範囲 φ150㎜ 電動プログラマブル φ200mm 電動プログラマブル
    θステージ 360°手動 360°電動プログラマブル
    サンプル厚さ(最大) 55mm
    サンプル観察 ・シングルビュー
     (トップorサイドを選択)
    ・4Xデジタルズーム付き
    ・サイドビュー:
     視野1.05×0.85mm
    ・トップビュー:
     視野1.7×1.4mm
    ・デュアルビュー(トップ+サイド)
    ・3.5X光学ズーム付き
    ・サイドビュー:視野1.4×1.4mm
    ・トップビュー:視野0.85×1.2mm
    段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料)
    垂直測定レンジ(最大) 327μm  オプション:1000μm
    垂直測定分解能(最高) 0.001nm (6.5μmレンジ)
    針圧範囲 0.5~50mg  オプション:0.03~50mg(測定レンジ 131μm)
    触針先端半径 2μmR
    プロファイルデータポイント 4,000,000
    自動シーケンス測定 20サイト  オプション:1,000サイト
    ストレス測定 オプション:2Dストレス オプション:2D/3Dストレス
    パターン認識 オプション
    プロファイルスティッチング 標準
    オートレベリング 標準
    Apex 2D/3D解析 標準:2D オプション:3D
    OS Windows7
    電源 AC90-230V、50/60Hz、500VA
    外形寸法(W×D×H) / 重量 570×670×430mm / 80kg 560×970×430mm / 100kg 740×970×430mm / 109kg
    (本体測定部のみ、PC・モニタ含まず)

    データダウンロード

    カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。

    すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

    Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.