EB電源
HPS-Nシリーズ
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。>> アルバックのEB電源 3つのメリットとは？
用途
- 金属膜用真空蒸着
- 光学膜用真空蒸着
特長
- 冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要 - 高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック - 簡易な操作性
操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上 - スイープ波形バリエーション
操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能 - 高速アーク遮断機能
高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成 - 低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション）
光学用途で発生する微小なアークを制御し安定した蒸着が可能
仕様
| 形式 | HPS-600N | HPS-1000N | ||
| 入力仕様 | 相数、周波数 | 三相 50/60Hz | ||
| 入力電圧 | AC200〜220V | |||
| 変動範囲 | AC190〜231V | |||
| 入力容量 | 1ソース | 9.0kVA以下 | 14.0kVA以下 | |
| 2ソース | 10.0kVA以下 | 15.0kVA以下 | ||
| 漏洩電流 | 各相5mA以下 | |||
| 出力仕様 | 定格出力電力 | 1ソース | 6kW | 10kW |
| 2ソース | 6kW （各ソース出力合わせて） |
10kW （各ソース出力合わせて） |
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| 高圧出力電圧 | 可変範囲 | -2〜-6kV | -4〜-10kV | |
| 安定度 | ±1%以下 | |||
| リップル率 | ±2%p-p以下（各定格出力にて） | |||
| ビーム電流 | 可変範囲 | 0〜1000mA | ||
| 変動率 | ±2%以下（各定格出力にて） | |||
| フィラメント用出力 | 電圧 | 0〜6V/12VAC | ||
| 電流 | 0A〜45A Max | |||
| 高圧せん絡保護 | 動作方式 | 半導体素子によるスイッチング方式 | ||
| 高圧遮断時間 | 1ms以下（機械的短絡においては約1秒で高圧OFF） | |||
| 休止時間 | 10ms以下 | |||
| 高圧立ち上がり時間 | 1ms以下（定格20%から80%） | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法 W×D×H | 494mm×701mm×712mm（ 突起部含まず） | |||
| 質量 | 約115kg | 約120kg | ||
| 適合規格 | CE | |||
| 形式 | EGC-10GS | |||
| TYPE | G-TYPE | S-TYPE | ||
| 入力仕様 | 相数、周波数 | 三相 50/60Hz | ||
| 入力電圧 | AC200〜220V | |||
| 変動範囲 | AC190〜231V | |||
| 入力容量 | 382VA以下 | |||
| 漏洩電流 | 各相5mA以下 | |||
| 出力仕様 | X軸マグネットコイル出力 | 可変範囲 | 0〜±1.5A | 0〜-3.5A |
| 電圧 | ±24V Max | |||
| 変動率 | ±2%以下 | |||
| 周波数 | 10〜800Hz 0.1Hz毎に可変 | 0.1〜5Hz 0.1Hz毎に可変 | ||
| 波形 | 任意波形 | |||
| Y軸マグネットコイル出力 | 可変範囲 | 0〜±1.5A | 0〜±1.2A | |
| 電圧 | ±24V | |||
| 変動率 | ±2%以下 | |||
| 周波数 | 10〜800Hz 0.1Hz毎に可変 | 0.1〜22Hz 0.1Hz毎に可変 | ||
| 波形 | 任意波形 | |||
| 偏向コイル出力 （ディフレクションコイル） （G-TYPE用ガンのみ） |
可変範囲 | -0.4〜-3.5A | ||
| 電圧 | ＋24V Max | |||
| 変動率 | ±2%以下 | |||
| 周波数 | DC | |||
| 波形 | DC | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法 W×D×H | 480.5mm×499mm×149mm | |||
| 質量 | 11.5kg | |||
| 適合規格 | CE | |||
* 動作周囲温度 10〜40ºC（結露なきこと）
* 動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。
