EB電源
HPSシリーズ
EB電源HPSシリーズは、最大5/10/16kW の電力を供給し、より安定した蒸着をめざした電子ビーム蒸着用電源です。ソリッドステート式の採用により、小型・軽量化と、高い信頼性を実現しました。
用途
- 真空蒸着
- イオンプレーティング
特長
- ソリッドステート式の採用により、小型・軽量化と高い信頼性を実現
- 強制空冷方式のため冷却水が不要
- 異常放電時の成膜レートの低下を最小限にする定電流垂下方式を採用
- エミッションをフィードバック制御しているため安定した電力制御が可能
- 各回路を見直し信頼性の向上と耐ノイズ性を向上
- 主回路にINV方式を採用することにより電力使用効率を向上
仕様
| HPS-510S | HPS-1000F | HPS-1600F | ||
| 高電圧出力 | 電圧 | -4〜-10kV | ||
| 電流 | 0〜0.5A | 0〜1.0A | 0〜1.6A | |
| 外形寸法 (WDH) mm | 本体 | 480×620×300 | 500×700×710 | |
| コントローラ | 本体に内蔵 | 480×480×149 | ||
| 質量 | 本体 | 50kg | 115kg | |
| コントローラ | 20kg | 17kg | ||
