スパッタイオンポンプ コントローラ
GST-07L Ver.B
GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポンプコントロールです。
用途
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 分析機器
特長
- 小型・軽量
CPU搭載によるマルチ機能化。
この1台で全てのスパッタイオンポンプ（PSTシリーズ）の制御が可能。 - 通信機器標準装備
外部通信制御機能が標準装備されているので、遠隔操作・自動化運転が可能。 - XHV対応
自動起動回路およびソフトスタート機能搭載により、ポンプセルの汚染を最小限に抑えることが可能。（→特許第1340297号他出願中） - 安全機能向上
操作スイッチの誤操作防止機能および各種保護用インターロック機能搭載。耐熱・耐寒および電気特性に優れたハイフロンフッ素樹脂高圧ケーブルの採用。
特定有害物質の使用制限（RoHS指令）対応。
CEマーキング対応。
仕様
| 組合せポンプ | アクターポンプ（全てのPSTシリーズ） | |
| 動作圧力 | 10-2 to 10-4Pa以下 | |
| 表示範囲 | 表示方法 | デジタル表示 （７セグメントLED表示） |
| 表示内容 | ||
| a）出力電流表示 | mA． μAの2レンジ自動切換え（LINEAR表示） | |
| b）出力電圧表示 | DC0.0〜7.5kV（H または L）（１レンジLINEAR表示） | |
| c）圧力表示 | Pa, mbr (1×10-8〜1×10-2Pa) (1×10-10〜1×10-4mbar) |
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| 出力開放電圧 | DC+7.5kV （パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え H.Lの設定電圧は約1.0〜7.5kVボリューム可変） |
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| 出力電流 | DC31mA以下 | |
| 入力電圧・電流 | AC100〜115V±10% • 50/60Hz • 3.0A AC200〜240V±10% • 50/60Hz • 1.5A |
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| MONITOR端子出力信号 | パネル７セグメント表示に比例した信号を出力 各レンジDC0〜10V F.S. 100kΩ以上 |
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| 圧力セットポイント | 2点 | |
| REMOTE/LOCAL | 前面パネルスイッチにより切替 | |
| 各種入力機能付（REMOTEコネクタ付） （リモート制御、RS232C通信制御搭載） |
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| 保護機能 | エラー表示/各種保護機能搭載 表示点灯で高電圧（HV)出力遮断（ERR 0〜8） スタートアップ保護用タイマー設定 （1〜255分で可変） 停電後自動復帰可能 （HV-HOLDスイッチ操作） |
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| 使用環境 | 温度範囲 | 0〜40ºC |
| 湿度範囲 | 85%以下（結露無し） | |
| 付属品 | 入力ケーブル３ｍ | |
| 質量 | 本体：約4kg | |
| 外形寸法 W x H x D | W240×H99×D370mm（ラック取付金具除く） | |
