水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-6000G
CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。
用途
- 蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御
特長
- 優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能
- サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能
- 最大99層までの多層膜制御が可能
- RS232Cを標準装備
- シングルセンサを2本まで接続可能（切り替え式）
- プログラム可能なデジタル入出力（各12ch）およびアナログ出力（3ch）を装備
仕様
| 膜厚・測定分解能 | 0.041 Å (5 MHz) 0.029 Å (6 MHz) |
| 膜厚表示範囲/表示分解能 | 0.001kÅ 〜 999.9kÅ / 1Å |
| 蒸着速度表示範囲/表示分解能 | 0.1 〜 999.9Å/s / 0.1Å/s |
| 対応センサ周波数 | 5MHz, 6MHz |
| 取り付け可能センサ数 |
シングルセンサ：2（同時計測は不可、切り替え式） |
| サンプリングレート | 125ms |
| 多層膜数 | 99層 |
| デポジションプログラム数 | 99 |
| デジタル入力/出力 | 入力：12chプログラマブル 出力：12chプログラマブル |
| アナログ出力 | 3chプログラマブル |
| 外形寸法 W×D×H | 240mm x 350mm x 99mm |
お役立ち情報
購入時の注意点
- CRTSご注文時にオシレータは付属されていますが、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルは、別売りになります（長さをご指定ください）
- 長寿命CRTSの場合は、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルとオシレータコントロールケーブルの2本が必要です。それぞれ別売りになります（長さをご指定ください）
- CRTSご注文時には、導入端子からセンサー先端までの長さをご指定ください（付属の内部ケーブル長も自動的にセンサー長に合わせます）
