スパッタイオンポンプ

スパッタイオンポンプ　セレクションガイド

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

活性ガス排気型

	排気速度１×１０-7Ｐａ時		到達圧力	接続フランジ	質量	適合機種
	N2	Ar
	0.36m3/s	0.04m3/s	10-10Pa	UFC203	約124Kg	PST-400CXⅡ
	0.20m3/s	0.02m3/s	10-10Pa	UFC203	約65Kg	PST-200CXⅡ
	0.08m3/s 最大0.10m3/s	–	10-9Pa台	UFC152	約37Kg	PST-100CX
	0.03m3/s 最大0.045m3/s	–	10-9Pa台	UFC114	約12.8Kg	PST-050CU
	0.02m3/s 最大0.03m3/s	–	10-9Pa台	UFC70	約9.5Kg	PST-030CU

希ガス排気強化型

	排気速度１×１０-7Ｐａ時		到達圧力	接続フランジ	質量	適合機種
	N2	Ar
	0.36m3/s	0.19m3/s	10-10Pa	UFC203	約124Kg	PST-400AXⅡ
	0.20m3/s	0.105m3/s	10-10Pa	UFC203	約65Kg	PST-200AXⅡ
	0.08m3/s 最大0.10m3/s	–	10-9Pa台	UFC152	約37Kg	PST-100AX
	0.06m3/s 最大0.11m3/s	–	10-9pa台	UFC152	約36.5Kg	PST-110AU
	0.03m3/s 最大0.045m3/s	–	10-9Pa台	UFC114	約12.8Kg	PST-050AU
	0.02m3/s 最大0.03m3/s	–	10-9Pa台	UFC70	約9.5Kg	PST-030AU

スパッタイオンポンプコントロール

特長：CPU搭載によるマルチ機能化。この１機種で全てのスパッタイオンポンプPSTシリーズの制御が可能。

	表示範囲	動作圧力	外形寸法	質量	付属品	適合機種
	デジタル表示 （7セグメントLED表示）	Pa, mbr (10-2～ 10-8pa) (10-4～ 10-10mbar)	W240 H99 D370 (ﾗｯｸ取付金具除くとW200)	約4Ｋｇ	入力ケーブル3ｍ	GST-07L-B

※出力ケーブルは、別売りになります。別途長さをご指定ください。