真空機器の国内専門商社 真空機器はアルバック販売へ!
製品情報

真空ポンプ

アルバックの真空ポンプは排気特性が非常に優れています。用途に応じた豊富な機種、オプションがあり多くのお客様にご愛用いただいております。

粉体吸着トラップ TROシリーズ

TRO シリーズは、CVD などの多量な粉体が発生するプロセスでの使用に効果を発揮します。
装置と油回転真空ポンプの間に設置...

オイルフィルトレ-ションシステム OFシリーズ/UFO・UFWシリーズ

CVD 及びエッチングプロセスに使用される油回転真空ポンプには、反応生成物、未反応ガス、酸などが吸引されます。そのため、作動油の酸化や...

アスピレーター MDA-006

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(6L/min)を内蔵したポータブルアスピレーターです。ロータリーエバポレーター、遠心エバポレーター、真...

アスピレーター MDA-015A

ダイアフラム型ドライ真空ポンプを内蔵したポータブルアスピレーターです。ロータリーエバポレーター、遠心エバポレーター、真空ろ過等の減圧に...

高真空排気装置DEPOX VWR-400M/X

【水冷式油拡散ポンプ(400L/sec)+油回転真空ポンプ】
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電...

高真空排気装置DEPOX VFR-200M/X

【空冷式油拡散ポンプ(200L/sec)+油回転真空ポンプ】
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電...

高真空排気装置VPC VPC-250F

【空冷式油拡散ポンプ(200L/sec)+油回転真空ポンプ】
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...

高真空排気装置VPC VPC-051A

【空冷式油拡散ポンプ(50L/sec)+油回転真空ポンプ。オートマチックバルブ採用。】
パイプフレームにメイ...

高真空排気装置VPC VPC-051

【空冷式油拡散ポンプ(50L/sec)+油回転真空ポンプ】
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...

ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ

YTPシリーズは、ULVACターボ分子ポンプ(UTMシリーズ)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易...

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です...

ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060

ターボ分子ポンプ(60L/sec)+ドライ真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
ベース架台内にタ...

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X

ターボ分子ポンプ(345L/sec)+スクロールポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
架台内にメイン...

高真空排気装置DEPOX VTR-350M/X

ターボ分子ポンプ(345L/sec)+油回転真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台。
架台内にメインポンプ...

メカニカルブースターポンプ用架台ユニット YMVシリーズ

YMVシリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニット...

メカニカルブースターポンプ排気装置 VMR-050

メカニカルブースターポンプ(833L/min)+油回転真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ・油回転真空ポンプ・配管をコンパ...

Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.