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製品情報

ターボ分子ポンプ排気装置

ターボ分子ポンプ、補助ポンプ、配管をコンパクト組み合わせた高真空排気装置です。

ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ

YTPシリーズは、ULVACターボ分子ポンプ(UTMシリーズ)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易...

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です...

ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060

ターボ分子ポンプ(60L/sec)+ドライ真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
ベース架台内にタ...

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X

ターボ分子ポンプ(345L/sec)+スクロールポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
架台内にメイン...

高真空排気装置DEPOX VTR-350M/X

ターボ分子ポンプ(345L/sec)+油回転真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台。
架台内にメインポンプ...

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