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製品情報

ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060

ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060

ターボ分子ポンプ(60L/sec)+ドライ真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。



特長

  1. 完全ドライの排気ユニットです。
  2. 設置スペースがコンパクトです。
  3. RoHS対応

仕様

型式 VPT-060
到達圧力
10-5 Pa台
メインポンプ ターボ分子ポンプ(空冷)60L/sec
補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min
吸気口 ISO63(オプション:KF-40)
質量 17kg
最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ) 340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)

電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
使用条件により、性能が低下することがあります。

ユーティリティー

型式 VPT-060
所要電気量
単相 100V 0.3kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値/100MΩ以下)
取り合い
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m

寸法図/図面ダウンロード

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ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060 寸法図

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排気系統図

ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060 排気系統図

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