ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060
ターボ分子ポンプ（60L/sec）＋ドライ真空ポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。
特長
- 完全ドライの排気ユニットです。
- 設置スペースがコンパクトです。
- RoHS対応
仕様
| 型式 | VPT-060 |
|---|---|
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到達圧力
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10-5 Pa台 |
| メインポンプ | ターボ分子ポンプ（空冷）60Ｌ/sec |
| 補助ポンプ | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min |
| 吸気口 | ISO63（オプション：KF-40） |
| 質量 | 17kg |
| 最大寸法 （W幅×D奥行き×H高さ） | 340mm(W)×340mm(D)×355mm(H) |
※電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
※使用条件により、性能が低下することがあります。
ユーティリティー
| 型式 | VPT-060 |
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所要電気量
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単相 100Ｖ 0.3kVA |
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アース端子
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D種 （接地抵抗値/100ＭΩ以下） |
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取り合い
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ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 2m |
排気系統図
