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製品情報

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。4インチから30インチ口径までの標準機種を取り揃えています。



用途

  • 真空蒸着装置
  • 核融合装置
  • スパッタリング装置
  • 表面分析装置
  • イオン注入装置
  • スペースチャンバ
  • 半導体プロセス装置
  • 加速器
  • その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置

特長

  • 他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。
  • すべての気体の排気ができます。
  • 液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用いただけます。
  • どのような方向にも取付けられます。
  • コンパクトなデザインで軽量です。
  • 操作が簡単です。
  • イオンポンプやターボ分子ポンプにくらべて大きな排気速度が得られます。

幅広い用途に・・・

  • スパッタ装置用に大排気容量型
  • エッチング、CVD装置などのために耐食性型
  • 極高真空用にベーカブルタイプ
  • 分析機器、実験装置などのために低振動型

さらに、バンドヒータ、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションを揃えております。 なお、お客様の重要な生産ラインに組み込まれることをふまえて、全国30カ所以上のサービス拠点よりニーズに即応できるサービス体制を敷いて、ご満足いただ けるよう心がけております。

仕様

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H
排気速度
(20℃)
窒素 450L/s 750L/s 1,700L/s
水素 500L/s 1,100L/s 2,700L/s
アルゴン 370L/s 620L/s 1,400L/s
1,100L/s 2,100L/s 4,000L/s
到達圧力   10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.3×103 Pa・L/s 1.1×103 Pa・L/s 1.2×103 Pa・L/s
水素 - 1.1×102 Pa・L/s 2.4×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 1.0×107 Pa・L 5.6×107 Pa・L 1.0×108 Pa・L
水素 1.5×105 Pa・L 3.1×105 Pa・L 1.0×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 45min 80min 100min
60Hz 40min 70min 90min
吸気口フランジ ISO-K,DN100 UVG150, UFC203 UVG200, 6BANSI, UFC253
コンプレッサユニット(水冷) C10 C10, C10AT, C10ES C10, C10AT, C10ES
質量 14.5 kg 19 kg 25 kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U8H-U CRYO-U8HL CRYO-U8HSP
排気速度
(20℃)
窒素 1,700L/s 1,500L/s 1,700L/s
水素 2,700L/s 2,200L/s 3,200L/s
アルゴン 1,400L/s 1,200L/s 1,400L/s
4,000L/s 4,000L/s 4,000L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.2×103 Pa・L/s 1.2×103 Pa・L/s 1.2×103 Pa・L/s
水素 2.4×102 Pa・L/s 1.6×102 Pa・L/s 2.4×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 1.0×108 Pa・L 1.6×108 Pa・L 2.5×108 Pa・L
水素 1.0×106 Pa・L 1.2×106 Pa・L 1.0×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 100min 90min 110min
60Hz 90min 80min 100min
吸気口フランジ UVG200、6BANSI、UFC253 UVG200 UVG200, 6BANSI, UFC253
コンプレッサユニット(水冷) C10, C10AT, C10ES C10, C10AT, C10ES C10, C10AT, C10ES
質量 20.8 kg 20 kg 34 kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U10H CRYO-U10HL CRYO-U10HSP
排気速度
(20℃)
窒素 2,400L/s 2,400L/s 2,400L/s
水素 3,600L/s 3,600L/s 3,600L/s
アルゴン 2,000L/s 2,000L/s 2,000L/s
6,900L/s 6,900L/s 6,900L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.0×103 Pa・L/s 1.3×103 Pa・L/s 1.3×103 Pa・L/s
水素 1.5×102 Pa・L/s 1.5×102 Pa・L/s 2.1×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 1.0×108 Pa・L 1.0×108 Pa・L 2.0×108 Pa・L
水素 1.2×106 Pa・L 1.2×106 Pa・L 1.2×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 110min 135min 120min
60Hz 100min 120min 110min
吸気口フランジ  UVG250 UVG250, UFC306,UFC305 UVG250, 10BANSI
コンプレッサユニット(水冷) C15R C15R C15R
質量 29 kg 29 Kg 36 Kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U12H CRYO-U12HL CRYO-U12HSP
排気速度
(20℃)
窒素 4,000L/s 4,000L/s 4,100L/s
水素 6,000L/s 6,800L/s 6,000L/s
アルゴン 3,300L/s 3,300L/s 3,400L/s
9,500L/s 9,500L/s 9,500L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 2.0×103 Pa・L/s 2.0×103 Pa・L/s 2.0×103 Pa・L/s
水素 4.1×102 Pa・L/s 4.1×102 Pa・L/s 4.1×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 2.1×108 Pa・L 3.1×108 Pa・L 4.4×108 Pa・L
水素 9.8×105 Pa・L 9.8×105 Pa・L 1.6×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 85min 90min 90min
60Hz 75min 80min 80min
吸気口フランジ UVG300, 10BANSI UVG300, 10BANSI UVG300, 10BANSI
コンプレッサユニット(水冷) C30VR C30VR C30VR
質量 40 kg 40 kg 42 kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U16 CRYO-U16P CRYO-U20P
排気速度
(20℃)
窒素 5,000L/s 5,000L/s 10,000L/s
水素 10,000L/s 10,000L/s 18,000L/s
アルゴン 4,200L/s 4,200L/s 8,400L/s
16,000L/s 16,000L/s 29,000L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.4×103 Pa・L/s 1.6×103 Pa・L/s 1.1×103 Pa・L/s
水素 4.1×102 Pa・L/s 4.5×102 Pa・L/s 5.0×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 4.3×108 Pa・L 4.3×108 Pa・L 5.8×108 Pa・L
水素 2.4×106 Pa・L 2.4×106 Pa・L 4.6×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 110min 120min 180min
60Hz 100min 110min 160min
吸気口フランジ UVG400 UVG400 UVG500
コンプレッサユニット(水冷) C30VR C30VR C30VR
質量 61 kg 61 kg 69 kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U20H CRYO-U22P CRYO-U22WB
排気速度
(20℃)
窒素 10,000L/s 11,500L/s 13,000L/s
水素 18,000L/s 14,000L/s 16,500L/s
アルゴン 8,400L/s 97,00L/s 11,000L/s
29,000L/s 39,000L/s 39,000L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.7×103 Pa・L/s 1.7×103 Pa・L/s 3.5×103 Pa・L/s
水素 5.0×102 Pa・L/s 5.0×102 Pa・L/s 1.3×103 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 5.8×108 Pa・L 5.8×108 Pa・L 8.1×108 Pa・L
水素 4.6×106 Pa・L 6.0×106 Pa・L 8.5×106 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 160min 180min 165min
60Hz 140min 170min 150min
吸気口フランジ UVG500, 20BANSI, ISO500 UVG550 UVG550
コンプレッサユニット(水冷) C30PVRT C30PVRT C30PMVRT×1
質量 72 Kg 115 Kg 125 Kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-U22H CRYO-U30H
排気速度
(20℃)
窒素 17,000L/s 28,000L/s
水素 25,000L/s 43,000L/s
アルゴン 14,000L/s 23,000L/s
39,000L/s 70,000L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 4.1×103 Pa・L/s 2.7×103 Pa・L/s
水素 1.3×103 Pa・L 7.4×103 Pa・L
排気容量 アルゴン 8.1×108 Pa・L 7.8×108 Pa・L
水素 8.5×106 Pa・L 1.5×107 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル)  50 Hz 150min 240min
60 Hz 135min 200min
吸気口フランジ UVG550 VG750
コンプレッサユニット(水冷)  C30VR×2 C30VR×2
質量 125 Kg 175 kg

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ/極低温冷凍機

諸元 CRYO-TORR8 CRYO-TORR10
排気速度
(20℃)
窒素 1,500L/s 3,000L/s
水素 2,500L/s 3,000L/s
アルゴン 1,200L/s 2,500L/s
4,000L/s 9,000L/s
到達圧力  10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.2×103 Pa・L/s 2.7×103 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 1.0×108 Pa・L 2.0×108 Pa・L
水素 6.1×105 Pa・L *1  1.2×106 Pa・L *1
水素 1.2×106 Pa・L *2 2.4×106 Pa・L *2
冷却降下時間(電力サイクル) (60 Hz) 90min 45min
吸気口フランジ 6BANSI 10BANSI
コンプレッサユニット(水冷)  - -
質量 20.4 kg 39 kg

*水素の排気容量は、吸着平衡圧力が下記に到達するまでの総排気量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)

クライオポンプとコンプレッサの組み合わせ(マルチシステム含む)

数字は1台のコンプレッサで運転できるポンプの台数を示します。
また、オプションとして( )の組合せもあります。(詳しくは取扱説明書をご覧ください。)

コンプレッサ 水冷
クライオポンプ C10/C10AT C15R C30VR C30MVR C30PVRT C40R
U4H 1     3   4
U6H 1     3   4
U8H
U8H-U
U8HSP
1     3   4
U10H
U10H
  1   2   ( 3 ) 
U12H
U12HSP
    1 ( 2 )    
U16
U16P
    1      
U20P     1      
U20H         1  
U22P         1  
U22H
U30H
    コンプレッサ
2台必要 
     

用語の説明

  • 最大流量
    クライオポンプが連続排気をしている状態で15K クライオパネルの温度が20Kに達する最大の気体流量。
  • 排気容量
    アルゴン:15K クライオパネルに凝縮したアルゴンが80K シールド、80K バッフルのどちらかに接触し、それ以上排気できなくなったとき、それまでに排気したアルゴンの量。
    水素:水素の排気速度が初期排気速度の80%に低下したとき、それまでに吸収剤に吸着した水素の量。
  • 冷却降下時間
    クライオポンプを40Pa まで粗引して起動させ、15K クライオパネルが20Kになるまで冷却するのに要する時間
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