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製品情報

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X

ターボ分子ポンプ(345L/sec)+スクロールポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。



特長

  1. キャスター付で、移動が容易なドライタイプの排気装置です。
  2. アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
  3. メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
  4. 三方向バルブを使用するなど、構成部品が少ないので、メンテナンスが容易です。
  5. 真空計等のオプションを同一架台内に収納可能です。
  6. RoHS対応

仕様

型式
VTS-350M/X
到達圧力
10-4Pa台
10-5Pa(液体窒素使用時)
メインポンプ
ターボ分子ポンプ 345 L/sec
補助ポンプ
スクロールポンプ 250 L/min
メインバルブ
100A バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
吸気口
VG-100
質量
135kg
最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ)
730mm(W)×584mm(D)×804mm(H)

電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。

ユーティリティー

型式
VTS-350M/X
所要電気量
単相 100V 0.9kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値/100MΩ以下)
取り合い
ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4圧着端子付) 4m

寸法図/図面ダウンロード

CAD図面データ(DXFファイル)をご利用の方は、アルバック機工サイトよりダウンロードできます。

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X 寸法図

CADデータダウンロード(DXF)

排気系統図

高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X 排気系統図

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