用途
- 粒子径10μｍ以上の粉体を含む気体の排気（乾燥状態）、真空吸着搬送・真空成型、真空包装、真空溶解炉、真空熱処理炉
仕様
| 型式 | 適用機種 | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|---|
| DS-20 | PVD-180 | 90 | 90 | VG20 | VF20 |
| DS-25 | PVD-360 | 90 | 90 | VG25 | VF25 |
| DS-40 | VD301、VD401 | 140 | 195 | VG40 | VF40 |
| DS-50 | VD601、VD901 | 140 | 195 | VG50 | VF50 |
| DS-2 | PKS-016 | 140 | 290 | VG50 | VF50 |
| DS-3 | PKS-030 | 200 | 530 | VG80 | VF80 |
| DS-4 | PKS-070 | 220 | 583 | VG100 | VF100 |
※PVD-180、360型には、吸気管（ RF シリーズ）の上に組み付けることとなります。
材質
ＳＵＳ
適用機種
ULVAC製油回転真空ポンプ
構造
交換容易なフィルタエレメントを内蔵。エレメントは、十分再生使用できます。
取付要領図
寸法図／寸法表（単位：mm ）
