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製品情報

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ

CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ

スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサで複数のポンプを運転するマルチシステム。



ベーカブルタイプ

極高真空に最適CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ ベーカブルタイプ

ベーカブルタイプのクライオポンプは、ポンプ壁を150℃〜200℃に加熱することにより容易に10-8Pa 以下の極高真空を得ることができます。 (CTI 製品を除く機種はベーカブルタイプの製作が可能です。)

スーパートラップ

水の排気専用CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ スーパートラップ

1段式冷凍機を用いた極低温トラップです。LN2が必要なく、手間、コストの面からもお得です。 用途に応じて設計製作が可能です。

L 型タイプ

装置のコンパクト化に貢献CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ  L 型タイプ

冷凍機ユニットを横方向より取付けることより、高さ方向の寸法を極力小さくしたものです。(CTI 製品を除く機種はL型タイプの製作可能です。)

諸元 CRYO-U8HL CRYO-U12HL
排気速度
(20℃)
窒素 1500L/s 4000L/s
水素 2200L/s 6800L/s
アルゴン 1200L/s 3300L/s
4000L/s 9500L/s
到達圧力   10-7 Pa 10-7 Pa
最大流量 アルゴン 1.2×103 Pa・L/s 2.0×103 Pa・L/s
水素 1.6×102 Pa・L/s 4.1×102 Pa・L/s
排気容量 アルゴン 1.6×108 Pa・L 3.1×108 Pa・L
水素 1.2×106 Pa・L 9.8×105 Pa・L
冷却降下時間(電力サイクル) 50Hz 100min 90min
60Hz 90 min 80min
吸気口フランジ UVG200 UVG300、10BANSI
質量 20 kg 40 kg
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