成膜用電源 / EBガン
EBガン、EB電源、DC電源、RF電源などアルバックが長年の装置製造で培ったプロセスノウハウを取り入れた電源をご提供いたします。
DC PULSE 電源 DPG-5P/DPG-10P
DPG-Pシリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。
蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ
アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。