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製品情報

EB電源
HPSシリーズ

EB電源HPSシリーズは、最大5/10/16kW の電力を供給し、より安定した蒸着をめざした電子ビーム蒸着用電源です。ソリッドステート式の採用により、小型・軽量化と、高い信頼性を実現しました。



用途

  • 真空蒸着
  • イオンプレーティング

特長

  • ソリッドステート式の採用により、小型・軽量化と高い信頼性を実現
  • 強制空冷方式のため冷却水が不要
  • 異常放電時の成膜レートの低下を最小限にする定電流垂下方式を採用
  • エミッションをフィードバック制御しているため安定した電力制御が可能
  • 各回路を見直し信頼性の向上と耐ノイズ性を向上
  • 主回路にINV方式を採用することにより電力使用効率を向上

仕様

  HPS-510S HPS-1000F HPS-1600F
高電圧出力 電圧 -4〜-10kV
電流 0〜0.5A 0〜1.0A 0〜1.6A
外形寸法 (WDH) mm 本体 480×620×300 500×700×710
コントローラ 本体に内蔵 480×480×149
質量 本体 50kg 115kg
コントローラ 20kg 17kg

図面データ

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HPS [DXF]
HPS [PDF]
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