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製品情報

金属蒸着用EBガン
EGNシリーズ

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。



用途

  • 電子ビーム蒸着用蒸発源

特長

  • フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なく、清掃が容易
  • 新エミッタ構造の採用により、 部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易
  • 金属蒸着に最適なリボンビームと、酸化物/化合物に最適なスポットビームの選択が可能
  • 装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

仕様

型式 EGN-206M EGN-406M
電子ビーム偏向角度 270º 270º
ルツボ数 6 6
ルツボ容量 20cc 40cc
冷却水量 10L/min 10L/min
外形寸法 W×D×H 267mm×343mm×150mm 267mm×343mm×150mm
重量 28kg 28kg
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