用途
- FPD用スパッタリング装置
- 半導体用スパッタリング装置
- タッチパネル用スパッタリング装置
- 産業コーティング用スパッタリング装置
特長
- 軽量・省スペース
設置性に優れた軽量・省スペース設計。
- 出力電圧範囲が選択可能
800V仕様に加えて1000V仕様もラインアップ。
- 豊富なアークハンドリング
プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式。
- 冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要。
- 高速アーク遮断回路を搭載可能
標準でも低アークエネルギーを実現。さらにオプションで高速アーク遮断回路を搭載可能。
- 自由な並列運転機能を搭載可能
DC-10、DC-20：オプションの並列運転機能により自由に10kWと20kWを組み合わせて最大12台までの並列運転が可能。（最大240kW）
仕様
| 型式 |
DC-10 |
DC-10-H |
DC-20 |
DC-20-H |
| 入力仕様 |
入力電圧 |
AC208V |
| 変動範囲 |
AC187〜229V |
| 相数、周波数 |
3相 50/60Hz |
| 入力接続部 |
コネクタ接続 |
| 入力容量 |
13.5kVA以下 |
25kVA以下 |
| 出力仕様 |
最大定格電力 |
10kW |
20kW |
| 定格電流 |
25A |
16.7A |
50A |
33.3A |
| 定格電圧 |
800V |
1000V |
800V |
1000V |
| 出力極性 |
マイナス極性 |
| 異常放電制御 |
異常放電検出時にインバータ停止もしくは高速アーク遮断回路*1により遮断 |
| 出力接続部 |
コネクタ接続 |
| 制御 |
制御方式 |
定電力制御(P制御)/定電流制御（ I 制御）/定電圧制御（V制御） |
| 制御精度 |
定格出力の±1%以下 |
| 制御保証範囲 |
定電力制御 定格電力値の10〜100% |
| 並列運転 |
マスター/スレーブ通信により最大12台まで制御可能*2 |
| 冷却方式 |
強制空冷 |
| 外形寸法（W×D×H) |
483mm×630mm×133mm（突起部含まず） |
| 質量 |
28kg |
35kg |
| 適合規格 |
CEおよびSEMI F47 |
| 動作周囲温度 10ºC〜 40ºC（結露なき事） |
| 動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと |
| *1：オプション対応 |
| *2：800V仕様と1000V仕様の組み合わせは不可 |
