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製品情報

異常放電防止ユニット
A2Kシリーズ

A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。
既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。



用途

  • FPD用反応性スパッタリング装置
  • 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
  • カラーTFT用反応性スパッタリング装置
  • 特長

    • 高スループット
      異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能
    • 基板ダメージの低減
      アーク起因の基板ダメージを低減可能
    • 基板温度の抑制
      RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能
    • 簡易な接続性
      既存の装置にも接続が可能 *1
    • 逆パルス周波数の変更可
      A2KH-25/50:1kHz ~ 20kHz、A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHzの範囲で可能
    • パルス同期システム
      複数台のA2Kの出力パルス同期が可能 *2 *3
    • マスタースレーブ接続により大容量化が可能
      A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能

    • ■応用:パルス同期システム
      Pulse synchronization system

      同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を防止させることが可能です *3 *4


      *1:弊社DC電源:DPGシリーズとの接続が可能
      *2:A2KH-25、50、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および 並列運転はできません
      *3:A2KH-25/50は外部同期ユニット(PHSM/PHSS)が必要
      *4:A2K-20K/40Kは光同期ケーブル(Pulse link cable)が必要

    仕様

    型式 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K
    制御電源入力
    input
    入力 AC90~110V AC100~240V
    周波数 単相 50/60Hz 50/60Hz
    電力 100VA 120VA 400VA
    漏洩電流 1mA以下
    入力仕様 動作電圧 -100~-800V
    動作電流 0~25A 0~50A 0~50A 0~100A
    入力構造 コネクタ接続 端子台もしくはコネクタ接続 コネクタ接続
    出力仕様 パルス幅 5μs/10μs 内部スイッチで切替 1~18μs ※周波数制限有
    発振周波数 ・パルス幅 5μs選択時の周波数:
     2,5,10,15,20kHz
    ・パルス幅 10μs選択時の周波数:
     1,2.5,5,7.5,10kHz
    1~50KHz
    1KHz毎に可変
    逆パルス電圧 DC電源出力電圧の10~20%(負荷インピーダンスに依存)
    耐圧 連続 -1500Vdc
    並列運転機能 無し 最大6台まで可能 *5
    冷却方式 強制空冷
    外形寸法(W×D×H) 238×450×149mm 430×450×149mm 483×630×177mm
    質量 16kg 27kg 30kg 45kg
    適合規格 RoHs指令

    動作周囲温度5°C~40°C(結露なき事)
    動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
    *5: A2K-20KとA2K-40Kの混在使用は不可

    データダウンロード

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