異常放電防止ユニット A2Kシリーズ
A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。
既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。
用途
- FPD用反応性スパッタリング装置
- 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
- カラーTFT用反応性スパッタリング装置
特長
-
- 高スループット
異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能 - 基板ダメージの低減
アーク起因の基板ダメージを低減可能 - 基板温度の抑制
RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能 - 簡易な接続性
既存の装置にも接続が可能 *1 - 逆パルス周波数の変更可
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHzの範囲で可能 - パルス同期システム
複数台のA2Kの出力パルス同期が可能 *2 *3 - マスタースレーブ接続により大容量化が可能
A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能
- 高スループット
■応用：パルス同期システム
同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を防止させることが可能です *3 *4
*1：弊社DC電源との接続が可能
*2：A2KH-25、50、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および
並列運転はできません
*3：A2KH-25/50は外部同期ユニット（PHSM/PHSS）が必要
*4：A2K-20K/40Kは光同期ケーブル（Pulse link cable）が必要
仕様
| 型式 | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| 制御電源入力 input |
入力 | AC90～110V | AC100～240V | ||
| 周波数 | 単相 50/60Hz 50/60Hz | ||||
| 電力 | 100VA | 120VA | 400VA | ||
| 漏洩電流 | 1mA以下 | ||||
| 入力仕様 | 動作電圧 | -100～-800V | |||
| 動作電流 | 0~25A | 0~50A | 0~50A | 0~100A | |
| 入力構造 | コネクタ接続 | 端子台もしくはコネクタ接続 | コネクタ接続 | ||
| 出力仕様 | パルス幅 | 5μs/10μs 内部スイッチで切替 | 1～18μs ※周波数制限有 | ||
| 発振周波数 | ・パルス幅 5μs選択時の周波数： 2,5,10,15,20kHz ・パルス幅 10μs選択時の周波数： |
1～50KHz 1KHz毎に可変 |
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| 逆パルス電圧 | DC電源出力電圧の10～20%（負荷インピーダンスに依存） | ||||
| 耐圧 | 連続 | -1500Vdc | |||
| 並列運転機能 | 無し | 最大6台まで可能 *5 | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||||
| 外形寸法（W×D×H) | 238×450×149mm | 430×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| 質量 | 16kg | 27kg | 30kg | 45kg | |
| 適合規格 | RoHs指令 | ||||
動作周囲温度5°C～40°C（結露なき事）
動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
*5： A2K-20KとA2K-40Kの混在使用は不可
