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製品情報

蒸発用EBガン
EGK/EGL/EGOシリーズ

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。



用途

  • 電子ビーム蒸着用蒸発源

特長

  • EGK/EGLタイプは、金属蒸着に最適です。
  • EGLタイプは、フィラメント汚染のない270°偏向になっています。
  • EGLタイプは、ルツボの冷却性能が高く、汚染を極力防ぐ構造です。
  • EGOタイプは、高速スイープと垂直入射を備え、酸化物や化合物の蒸着に最適です。

仕様

[金属用EBガン]

ルツボ容量
3cc 10cc 20cc 40cc 110cc
ルツボ数 1 EGK-3 - - EGL-35 EGL-110
3 - EGL-103S
* 1
EGL-203S
* 1
- -
4 EGK-3M EGL-35M
* 2
- EGL-35M
*2
EGL-80M
6 - - EGL-206M
EGN-206M
EGL-406M
EGN-406M
-
*1 超高真空用です。
*2 10cc×2、40cc×2が標準タイプとなります。

[光学用EBガン]

ルツボ容量
10cc 20cc 40cc 110cc
ルツボ数 4 EGO-40M
- EGO-40M
*3
EGO-110M
6 - EGO-206M - -
*3 10cc×2、40cc×2が標準タイプとなります。

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