DC電源 DC-2/DC-4
DC-2およびDC-4は、2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。
用途
・R&D向けスパッタリング装置
・各種成膜装置のバイアス電源
特長
・高い制御精度
10%以下の低パワー領域でも設定値の±1%の高精度出力
・広い精度保証
1～100%の広いパワー精度保証
・軽量・省スペース
設置性に優れた軽量・省スペース設計。
・冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要。
・高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
仕様
| 型式 | DC-2 | DC-4 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | AC208V/220V | |
| 変動範囲 | AC180～242V | ||
| 相数、周波数 | 3相 50/60Hz | ||
| 入力容量 | 3.5kVA | 6.2kVA | |
| 出力仕様 | 最大定格電力 | 2kW | 4Kw |
| 定格電流 | 5A | 10A | |
| 定格電圧 | 800V | ||
| 出力極性 | マイナス極性 | ||
| 異常放電制御 | 共振による遮断または、インバーター遮断 | ||
| 制御 | 制御方式 | 定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御） | |
| 制御精度 | 設定値の±1% （弊社規定抵抗値にて） |
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| 制御保証範囲 | 定格電力値の1～100％ | ||
| 並列運転 | 無 | ||
| 外部制御 | アナログ／デジタル、RS-232CまたはRS-485 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||
| 外形寸法（W×D×H） | 241mm×610mm×133mm（突起物含まず） | ||
| 質量 | 15kg | ||
| 適合規格 | CE/SEMI F47/RoHS指令 | ||
動作周囲温度 5℃～40℃（結露なき事）
動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まないこと
