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製品情報

スパッタ・ロードロック式

様々な製品、使用用途に応じたロードロック式スパッタリング装置です。

マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。...

ロードロック式 スパッタリング装置 CS-200

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

裏面・実装用スパッタリング装置 SRH シリーズ

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置...

R&D用スパッタ装置 QAM シリーズ

これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる装置です。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が実現しました。...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRONTM-EX2 W300

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラット...

マルチチャンバ型装置 ENTRONTM N300

マルチチャンバ型装置ENTRONTM N300は、適切な投資効率を実現するジャストフィット装置です。PVD、CV...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 MLXTM-3000N

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLXTM-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパ...

ロードロック式スパッタリング装置 SPH シリーズ

車載ミラー、樹脂成型品など小型部品の生産工程の一貫自動化に対応したロードロック式スパッタリング装置です。2ステージ仕様のSPH-320...

実験用小型スパッタリング装置 CS-L

実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自...

光学膜用スパッタリング装置 ULDiS シリーズ

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモード® の技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高...

超高真空スパッタリング装置 MPS シリーズ

超高真空スパッタリング装置MPSシリーズは、豊富な経験と実績に基づいて開発されたスパッタリング装置です。従来のスパッタリング放電圧力よ...

コンパクトスパッタ ACS-4000

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にし...

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