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製品情報

スパッタリング装置

あらゆる業界に多数の納入実績を誇るアルバックのスパッタリング装置です。

バッチ式スパッタリング装置 SX シリーズ

バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で...

バッチ式スパッタリング装置 SV シリーズ

SVシリーズは縦型のバッチ式スパッタリング装置です。 ディスクスタンパ専用のSV-200と基板を多量に処理可能なカルーセル型があります...

高周波スパッタリング装置 VTR-150M/SRF (SCOTT-C3)

ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプ/マグネトロンスパッタ
RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。金属、半導体...

高周波スパッタリング装置 RFS-200

水冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプ/コンベンショナルスパッタ
RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。金属、...

巻取式スパッタリング装置 SPW シリーズ

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気...

スパッタリング装置 SMD シリーズ

SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富...

横型インライン式スパッタリング装置 SCH シリーズ

SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。...

ロードロック式 スパッタリング装置 CS-200

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

裏面・実装用スパッタリング装置 SRH シリーズ

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置...

R&D用スパッタ装置 QAM シリーズ

これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる装置です。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が実現しました。...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRONTM-EX2 W300

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラット...

マルチチャンバ型装置 ENTRONTM N300

マルチチャンバ型装置ENTRONTM N300は、適切な投資効率を実現するジャストフィット装置です。PVD、CV...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 MLXTM-3000N

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLXTM-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパ...

ロードロック式スパッタリング装置 SPH シリーズ

車載ミラー、樹脂成型品など小型部品の生産工程の一貫自動化に対応したロードロック式スパッタリング装置です。2ステージ仕様のSPH-320...

実験用小型スパッタリング装置 CS-L

実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自...

光学膜用スパッタリング装置 ULDiS シリーズ

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモード® の技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高...

超高真空スパッタリング装置 MPS シリーズ

超高真空スパッタリング装置MPSシリーズは、豊富な経験と実績に基づいて開発されたスパッタリング装置です。従来のスパッタリング放電圧力よ...

コンパクトスパッタ ACS-4000

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にし...

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