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製品情報

真空搬送ロボット

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。

真空搬送ロボット COVOT

COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。

真空搬送ロボット COVOT-LC

COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。

真空搬送ロボット COVOT-6

COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。

真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ

NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。

真空搬送ロボット ELEC-RZ

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

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