用途
- 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
特長
- Z軸を持たない、シンプルな2軸ロボットです。
- コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
- 10-5Paの高真空まで対応します。
仕様
| 使用圧力領域 | 大気圧〜10-5Pa | |
| ウェーハサイズ | 200mm/300mm | |
| ウェーハ保持枚数 | 1枚/2枚 | |
| 最大到達距離 * | 880mm | |
| 回転角度 | -15º 〜 375º | |
| 昇降ストローク | - | |
| 最小旋回直径 * | 802mm 取付アームによる | |
| 可搬重量（ハンド含む） | 1kg | |
| 動作速度 | 伸縮 | Max 2.5sec / フルストローク |
| 旋回 | Max 2.5sec / 180º | |
| 昇降 | - | |
| 繰り返し位置精度 | 伸縮 | ±0.2mm |
| 旋回 | ±0.2mm | |
| 昇降 | - | |
| ティーチングペンダント | オプション | |
| コントローラ | 内蔵 | |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。
