真空搬送プラットフォーム
NCHシリーズ

真空搬送ロボット各種電源・ロボット関連

NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。

用途

• 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
• 各種真空実験装置での基板搬送

特長

• 接続ポートは4箇所（4角形）から最大8箇所（8角形）まで幅広く選択できます。
• 25段カセット対応のロードロック室を標準装備しています。
• 排気系、真空計など豊富なオプションを用意しています。