真空搬送ロボット
COVOT

真空搬送ロボット各種電源・ロボット関連

COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。

用途

• 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
• 各種真空実験装置での基板搬送

特長

• 真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。
• コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
• AWS機能（基板位置の自動補正機能）をオプションで追加することができます。
• 旋回動作に制限が無く、360º旋回可能ですので取り付け方向に制約がありません。