真空搬送ロボット
ELEC-RZ

真空搬送ロボット各種電源・ロボット関連

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

用途

• 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
• 各種真空実験装置での基板搬送

特長

• 真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。
• アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。
• ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。
• 操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。