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製品情報

イオン注入装置

半導体デバイス向け高性能イオン注入装置のシリーズです。SiC用の高温タイプも提供します。

中電流型イオン注入装置 SOPHI-200/260

中電流型イオン注入装置SOPHI-200/260は、最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置です。サンプリングをお受けしてい...

SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500

中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最...

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