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製品情報

研究開発用中電流イオン注入装置
IMX-3500

中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。



特長

  • 最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。
  • イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。
  • HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。

仕様

エネルギ 30~200keV(オプションで3~200keV対応)
最大ビーム電流 11B+ 400μA(200keV)
31P+ 600μA(200keV)
最小ビーム電流 150nA
イオン種 B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他
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