研究開発用中電流イオン注入装置
IMX-3500

成膜関連装置イオン注入装置

中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。

特長

• 最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。
• イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。
• HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。